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龙图腾网获悉弈芯科技(杭州)有限公司申请的专利一种生成曲线化掩模图形的方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121411066B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202512001938.6，技术领域涉及：G03F1/36；该发明授权一种生成曲线化掩模图形的方法及装置是由黄义铭设计研发完成，并于2025-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种生成曲线化掩模图形的方法及装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种生成曲线化掩模图形的方法及装置，每次边移动处理后的曼哈顿版图均对应唯一的等效曲线版图，在优化迭代过程中，该等效曲线版图用于替代曼哈顿版图进行光刻成像仿真。当优化收敛后，是对当前分段边移动处理后的曼哈顿版图执行曲线化处理，生成最终的曲线化掩模图形，作为优化后的OPC结果。本申请实施例中，在优化迭代过程中始终以曼哈顿图形为优化对象，但在仿真阶段采用等效曲线版图作为输入。通过这种方式，避免了直接修改曲线版图带来的控制难度，实现了在保持传统OPC优化稳定性的同时，稳定、高效地生成曲线化掩模图形，获得了满足EPE约束的曲线化掩模结果，提升了晶圆图形转移精度和芯片制造的成品率。

本发明授权一种生成曲线化掩模图形的方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种生成曲线化掩模图形的方法，其特征在于，包括： 对曼哈顿版图进行边界解析，识别各几何边的连接关系并获取相邻几何边形成的角点的几何属性，各角点的几何属性包括凹凸类型、内角角度及相邻边长度信息； 对曼哈顿版图的每条几何边进行分段得到分段边； 在每一分段边上设置用于边缘位置误差EPE评估的采样点，生成评估点集合； 对曼哈顿版图的分段边进行移动处理； 根据移动处理后的分段边的几何信息及角点的几何属性确定曲线化参数，并对分段边进行曲线化处理，生成平滑连续的曲线边界，以构成与分段边移动处理后的曼哈顿版图对应的等效曲线版图； 对等效曲线版图进行光刻成像仿真，在评估点集合中的各评估点处计算成像轮廓与目标版图之间的EPE； 根据得到的EPE值判断是否满足优化结束条件，在满足优化结束条件时，进入下一步骤；在不满足优化结束条件时，返回所述对曼哈顿版图的分段边进行移动处理的步骤； 对当前分段边移动处理后的曼哈顿版图进行曲线化，生成曲线化掩模图形。

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