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龙图腾网获悉湖南玉丰真空科学技术有限公司申请的专利一种用于镀膜舱室供应特气的供气装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121383093B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511963722.1，技术领域涉及：F17D1/02；该发明授权一种用于镀膜舱室供应特气的供气装置是由刘国利;张展荣;杨丹;徐欣洋;欧阳杰;李国强设计研发完成，并于2025-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于镀膜舱室供应特气的供气装置在说明书摘要公布了：本发明涉及镀膜加工技术领域，且公开了一种用于镀膜舱室供应特气的供气装置，该装置主要由主特气柜、备用特气柜、预充式缓冲罐和气流分散组件组成，主特气柜和备用特气柜通过气动三通阀与预充式缓冲罐相连，形成双气源供气系统；当主特气柜压力不足时，气动三通阀自动切换至备用特气柜，在此过程中预充式缓冲罐会优先释放储存的高压气体，通过供气主管持续向镀膜舱室供气，完全避免了传统设计中因阀门切换导致的气压波动问题。预充式缓冲罐采用同轴双腔室设计，包括外层的高压腔和内层的稳压腔，高压腔与气动三通阀连接，稳压腔通过供气主管与镀膜舱室连通，稳压腔内设有环形金属隔离板，通过自动调节机构实现气压自动平衡。

本发明授权一种用于镀膜舱室供应特气的供气装置在权利要求书中公布了：1.一种用于镀膜舱室供应特气的供气装置，包括主特气柜1和备用特气柜2，主特气柜1和备用特气柜2均用于镀膜舱室23供应特气，其特征在于： 所述主特气柜1和备用特气柜2均连通供气机构，主特气柜1和备用特气柜2共同连通有预充式缓冲罐4，预充式缓冲罐4用于特气的瞬时供气缓冲；主特气柜1和备用特气柜2均与预充式缓冲罐4之间安装有气动三通阀5，气动三通阀5用于特气供气气路切换；预充式缓冲罐4与镀膜舱室23内部之间固定连通有供气主管6，镀膜舱室23内部设置有与供气主管6配合工作的气流分散组件； 所述预充式缓冲罐4采用同轴双腔室设计，包括外层的圆柱形高压腔20和内层的稳压腔21，高压腔20顶部与气动三通阀5远离主特气柜1和备用特气柜2的一端连通，用于主特气柜1和备用特气柜2内部的特气输入； 稳压腔21同轴嵌套在高压腔20内部，稳压腔21的出口通过供气主管6与镀膜舱室23固定连通； 稳压腔21内部转动连接有带微孔结构的环形金属隔离板22，高压腔20和稳压腔21之间设有贯穿的自动调节机构； 稳压腔21内壁上开设有转动槽24，环形金属隔离板22转动连接于转动槽24内部，环形金属隔离板22和转动槽24上均开设有微孔区25和闭合区26，当微孔区25和闭合区26完全重合时，开度最大，当微孔区25和闭合区26完全错开时，开度最小； 所述自动调节机构包括活塞头31和活塞杆30，活塞头31滑动套接于稳压腔21的底部，活塞头31两端分别与高压腔20和稳压腔21的气体接触，活塞杆30与稳压腔21同轴设置，且活塞杆30滑动连接于稳压腔21内部，稳压腔21内部中部设置有导向环32； 活塞杆30一端与活塞头31固定连接，其另一端滑动套接于导向环32内部，活塞杆30中部设置有螺纹，环形金属隔离板22的内部沿经线方向固定连接有转杆33，转杆33中部固定连接有螺纹套34，螺纹套34与活塞杆30螺纹配合连接。

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