星昱传感科技(嘉兴)有限公司张群英获国家专利权
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龙图腾网获悉星昱传感科技(嘉兴)有限公司申请的专利微机械系统谐振器以及传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121367474B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511912862.6，技术领域涉及：H03H9/24；该发明授权微机械系统谐振器以及传感器是由张群英;马琳设计研发完成，并于2025-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本微机械系统谐振器以及传感器在说明书摘要公布了：本申请公开了一种微机械系统谐振器以及传感器，该微机械系统谐振器包括衬底、输入信号端子、输出信号端子和多个谐振组件；每个谐振组件包括固定电极，设置于衬底上；振动电极，平行且悬空设置于固定电极远离衬底的一侧上方，所述电极在所述衬底上的正投影覆盖所述固定电极在所述衬底上的正投影；第一支撑结构，设置于衬底靠近所述振动电极的一侧并与所述振动电极连接。通过本申请提供了一种工艺简化、成本较低、器件质量小、器件体积小以及所需激励电平小的微机械系统谐振器以及传感器。
本发明授权微机械系统谐振器以及传感器在权利要求书中公布了：1.一种微机械系统谐振器，其特征在于，包括：衬底、输入信号端子、输出信号端子和多个谐振组件；所述输入信号端子、所述输出信号端子分别设置于所述衬底上，所述输入信号端子、所述谐振组件和所述输出信号端子依次电连接； 每个所述谐振组件包括： 固定电极，设置于所述衬底上； 振动电极，平行且悬空设置于所述固定电极远离所述衬底的一侧上方，所述振动电极在所述衬底上的正投影覆盖所述固定电极在所述衬底上的正投影； 第一支撑结构，设置于所述衬底靠近所述振动电极的一侧并与所述振动电极连接； 其中，所述振动电极为方形膜，每个所述谐振组件包括四个所述固定电极； 四个所述固定电极分别设置在所述振动电极的边线处，所述边线处所对应的区域为所述振动电极在振动过程中幅值最大的位置；或， 四个所述固定电极分别设置在所述振动电极的边角处，所述边角处所对应的区域为所述振动电极在振动过程中幅值最大的位置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人星昱传感科技(嘉兴)有限公司，其通讯地址为：314000 浙江省嘉兴市南湖区大桥镇中环南路北0013幢一层120-32室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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