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龙图腾网获悉中国科学院光电技术研究所申请的专利一种大视场紧凑型反射式投影物镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121299896B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511874366.6，技术领域涉及：G02B13/00；该发明授权一种大视场紧凑型反射式投影物镜是由周吉;艾茗岐;田虎成;刘京腾;杜婧;刘俊伯设计研发完成，并于2025-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种大视场紧凑型反射式投影物镜在说明书摘要公布了：本发明提供一种大视场紧凑型反射式投影物镜，属于半导体制造光刻技术领域，该投影物镜系统包括六片非球面反射镜，光源照射掩模后，依次经过第一反射镜M1、第二反射镜M2、光阑、第三反射镜M3、第四反射镜M4、第五反射镜M5、第六反射镜M6，光阑位于第二反射镜M2和第三反射镜M3之间，最终成像于晶圆面上，实现投影物镜系统0.2的物像缩小倍率。在本发明实施例中，光路不存在光线遮拦现象且结构紧凑。其主要光学参数为：像方数值孔径为0.2，物方视场为10mm，系统总长为1280mm。

本发明授权一种大视场紧凑型反射式投影物镜在权利要求书中公布了：1.一种大视场紧凑型反射式投影物镜，其特征在于，该投影物镜为六面反射式结构，该结构包括：第一反射镜M1、第二反射镜M2、光阑、第三反射镜M3、第四反射镜M4、第五反射镜M5、第六反射镜M6，六个反射面均为非球面，光路方向为：光源照射掩模版后，依次经过第一反射镜M1、第二反射镜M2、光阑、第三反射镜M3、第四反射镜M4、第五反射镜M5、第六反射镜M6，最后成像于晶圆面上，实现投影物镜0.2的物像缩小倍率； 第一反射镜M1为凸面镜，其曲率半径为3144.654mm，与第二反射镜M2的距离为-413.026mm，半孔径为84.119mm； 第二反射镜M2为凹面镜，其曲率半径为1053.430mm，与第三反射镜M3的距离为747.822mm，半孔径为106.370mm； 第三反射镜M3为凸面镜，其曲率半径为788.942mm，与第四反射镜M4的距离为-496.548mm，半孔径为95.355mm； 第四反射镜M4为凹面镜，其曲率半径为807.428mm，与第五反射镜M5的距离为899.901mm，半孔径为274.985mm； 第五反射镜M5为凸面镜，其曲率半径为303.130mm，与第六反射镜M6的距离为-281.529mm，半孔径为38.069mm； 第六反射镜M6为凹面镜，其曲率半径为360.279mm，与像面的距离为341.449mm，半孔径为116.069mm； 符号规则定义：当镜面朝向光源一侧呈内凹形，即镜面曲率中心位于光源方向，该反射镜为凹面镜；反之，若镜面朝向光源一侧呈外凸，即镜面远离曲率中心，该反射镜则为凸面镜；以光线传播方向为参考，镜片的曲率中心位于顶点的左侧，则曲率半径为负值；镜片的曲率中心位于顶点的右侧，则曲率半径为正值；相邻两曲面间隔：由前一面的顶点到后一面的顶点，顺光线方向为正，逆光线方向为负。

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