霖鼎光学(上海)有限公司任明俊获国家专利权
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龙图腾网获悉霖鼎光学(上海)有限公司申请的专利一种鲁棒性支撑误差分离方法、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121298203B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511720663.5,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权一种鲁棒性支撑误差分离方法、电子设备及存储介质是由任明俊;张鑫泉;张哲;车进勇设计研发完成,并于2025-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种鲁棒性支撑误差分离方法、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了:本发明提供了一种鲁棒性支撑误差分离方法、电子设备及存储介质,涉及支撑误差分离技术领域,方法包括:在待检测光学元件的非通光孔径区域加工物理基准标记,并记录所述物理基准标记在所述待检测光学元件自身坐标系中的原始坐标;对所述待检测光学元件进行n次干涉测量;确定待检测光学元件每次测量对应的2D旋转矩阵与横向平移向量;获取预设测量模型;将第i次测量的干涉表面数据Mi与第j次测量的干涉表面数据Mⱼ相减;采用Zernike多项式展开Wtrue,并结合Mi‑Mj构建超定方程组;反推得到支撑误差;本发明能够有效分离支撑误差。
本发明授权一种鲁棒性支撑误差分离方法、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种鲁棒性支撑误差分离方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤: S100,在待检测光学元件的非通光孔径区域加工物理基准标记,并记录所述物理基准标记在所述待检测光学元件自身坐标系中的原始坐标; S200,将所述待检测光学元件固定于支撑夹具上,对所述待检测光学元件进行n次干涉测量;每次测量前手动旋转所述光学元件预设角度,每次测量同步采集待检测光学元件的干涉表面数据及物理基准标记的像素坐标点集; S300,以首次测量的像素坐标点集为参考,确定待检测光学元件每次测量对应的2D旋转矩阵与横向平移向量; S400,获取预设测量模型Mk=WtrueRk,tk+Wsupp;其中,Mk为待检测光学元件第k次测量的干涉表面数据;Wtrue为待检测光学元件的真实表面形貌;Rk,tk为第k次测量的复合位姿参数;Rk和tk分别为待检测光学元件第k次测量对应的2D旋转矩阵与横向平移向量;WtrueRk,tk为待检测光学元件经Rk,tk变换后的真实表面;Wsupp为支撑误差;k=1,2,…,n; S500,将第i次测量的干涉表面数据Mi与第j次测量的干涉表面数据Mⱼ相减,得到Mi-Mj=WtrueRi,ti-WtrueRj,tj;i=1,2,…,n;j=1,2,…,n;i不等于j; S600,采用Zernike多项式展开Wtrue,并结合Mi-Mj构建超定方程组; S700,通过最小二乘法求解Zernike系数以重构Wtrue,并将重构的Wtrue代入首次测量的像素坐标点集,反推得到支撑误差Wsupp。
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