上海车仪田科技有限公司张南南获国家专利权
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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利用于无等离子体刻蚀工艺的刻蚀终点检测方法及检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121237702B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511802929.0，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权用于无等离子体刻蚀工艺的刻蚀终点检测方法及检测系统是由张南南;张黎明;云燕午;任聪群设计研发完成，并于2025-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于无等离子体刻蚀工艺的刻蚀终点检测方法及检测系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于无等离子体刻蚀工艺的刻蚀终点检测方法及检测系统，刻蚀终点检测方法包括：获取气体浓度信号；对气体浓度信号进行处理，建立在t时刻的特征气体的信号变化率rt，将信号变化率rt作为对比数据T；设定标准值A，将对比数据T与标准值A进行对比；当T≥A时，判定刻蚀工艺未到达刻蚀终点；当T＜A时，判定刻蚀工艺到达刻蚀终点。检测系统包括半导体刻蚀工艺腔室、尾气排放管路和检测装置；尾气排放管路与半导体刻蚀工艺腔室连通以排出半导体刻蚀工艺腔室内的产物和副产物；检测装置设于尾气排放管路以实时检测特征气体的浓度。本发明解决了无等离子体刻蚀设备缺乏实时、高精度终点检测能力的问题。
本发明授权用于无等离子体刻蚀工艺的刻蚀终点检测方法及检测系统在权利要求书中公布了：1.一种用于无等离子体刻蚀工艺的刻蚀终点检测方法，其特征在于，所述刻蚀工艺在半导体刻蚀工艺腔室内不产生等离子体，所述刻蚀终点检测方法包括： 在所述半导体刻蚀工艺腔室的尾气排放管路上设置检测装置； 启动所述检测装置，实时检测所述尾气排放管路中特征气体的气体浓度，获取气体浓度信号； 对所述气体浓度信号进行处理，建立在t时刻的特征气体的信号变化率rt，计算t时刻时信号变化率rt的滑动平均值，作为对比数据T； 设定标准值A，将所述对比数据T与所述标准值A进行对比； 当T≥A时，判定刻蚀工艺未到达刻蚀终点； 当T＜A时，判定刻蚀工艺到达刻蚀终点；将已经确定的t时刻减去滑动平均值的算法延迟，得到刻蚀工艺到达刻蚀终点的实际时刻， 其中，为计算滑动平均值时引入的固有延迟；为防止误判设定的时间。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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