买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利基于气体辅助与可变倾角整流板的旋涂腔室气氛控制结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121222643B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511753661.6，技术领域涉及：B05C11/10；该发明授权基于气体辅助与可变倾角整流板的旋涂腔室气氛控制结构是由闫英;张宏福;郭东明;万佳奇;方子铿设计研发完成，并于2025-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于气体辅助与可变倾角整流板的旋涂腔室气氛控制结构在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于气体辅助与可变倾角整流板的旋涂腔室气氛控制结构，包括同步罩模块和主卡盘；所述同步罩模块与主卡盘为同心圆结构；所述同步罩模块安装于主卡盘上部。本发明通过在旋涂腔室内设置由伞齿轮传动驱动的可变倾角整流板结构，实现了腔室内部气流方向与强度的可调控制。通过调整整流板倾角，使腔室内部径向与轴向流场分布更加均匀，有效削弱了旋涂过程中由涡旋、剪切层突变等引起的流动不稳定性，从而提高了腔室内的流场均匀性，为旋涂膜厚控制提供了稳定的气流条件。本发明能够动态调节腔室内部溶剂蒸汽浓度，抑制溶剂过快挥发，显著减弱边缘效应和局部浓度梯度导致的膜厚不均，从而提高溶剂挥发的均匀性。

本发明授权基于气体辅助与可变倾角整流板的旋涂腔室气氛控制结构在权利要求书中公布了：1.一种基于气体辅助与可变倾角整流板的旋涂腔室气氛控制结构，其特征在于：包括同步罩模块和主卡盘5；所述同步罩模块与主卡盘5为同心圆结构；所述同步罩模块安装于主卡盘5上部；所述同步罩模块与主卡盘5通过密封圈摩擦传动； 所述同步罩模块由上到下依次是连接件7、腔室上盖1、大伞齿轮9、蒸汽腔室导流器10、分流层20、小伞齿轮27和整流板28；所述连接件7与腔室上盖1通过螺栓连接；所述腔室上盖1与分流层20通过螺钉连接；所述分流层20与蒸汽腔室导流器10通过螺栓连接；所述整流板28通过螺纹与小伞齿轮27连接；所述小伞齿轮27安装在分流层20上；所述大伞齿轮9安装在蒸汽腔室导流器10上；所述小伞齿轮27与大伞齿轮9啮合； 所述主卡盘5中心设置抽真空孔14；所述主卡盘5的内部底面为基底承载台安装平面15； 所述主卡盘5底部外侧设置主卡盘安装定位环13；所述主卡盘安装定位环13是主卡盘5底部的圆环突起；所述主卡盘5的顶部有密封圈安装槽17； 所述主卡盘5的内侧壁上部为圆柱面、下部为扩张型圆锥面；所述扩张型圆锥面是防飞溅斜面16；所述防飞溅斜面16的底部是排液孔4； 所述蒸汽腔室导流器10由中心平面、倾斜过渡面与底部平面组成；所述中心平面开有大伞齿轮安装孔25；所述底部平面开有蒸汽腔室导流器安装孔22；所述蒸汽腔室导流器10利用蒸汽腔室导流器安装孔22安装于分流层20上；所述蒸汽腔室导流器10的安装高度低于大伞齿轮9上的蒸汽腔室进气孔26；所述分流层20边缘位置设计有与腔室上盖1台阶配合安装的凸台；所述凸台朝向分流层20上方凸出；所述凸台上开有与腔室上盖1配合安装的通孔；所述分流层20上开有分流孔21；所述分流孔21沿着径向分布有7圈，每圈有16个分流孔21；所述分流层20中心有圆柱形空间；所述圆柱形空间是小伞齿轮安装架24；所述小伞齿轮安装架24侧壁开有4个小伞齿轮安装孔23。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人大连理工大学，其通讯地址为：116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。