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龙图腾网获悉北京阿法龙科技有限公司申请的专利一种微纳光栅线偏差快速检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120950823B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511470332.0，技术领域涉及：G06F17/18；该发明授权一种微纳光栅线偏差快速检测方法及系统是由徐培培设计研发完成，并于2025-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种微纳光栅线偏差快速检测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及光学检测技术领域，尤其涉及一种微纳光栅线偏差快速检测方法及系统；本发明采用编码照明技术构建结构化复合光场，通过多通道并行照明突破单通道检测限制；基于傅里叶空间多帧成像获取复合衍射光斑分布数据；利用二阶强度关联函数获取传统强度测量无法获得的相干性和时间关联特性；构建联合正向物理模型，通过迭代反演算法重构光栅复振幅分布和线边粗糙度参数，进行微纳光栅线偏差检测；本发明结合多通道编码照明与二阶强度关联函数分析，通过并行检测减少测量时间，利用通道间冗余信息提高检测可靠性，在保证精度的同时显著提升检测效率。

本发明授权一种微纳光栅线偏差快速检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种微纳光栅线偏差快速检测方法，其特征在于，偏差快速检测方法，包括： 通过多帧连续成像采集待测微纳光栅在傅里叶平面中产生的复合衍射光斑分布数据，计算复合衍射光斑分布数据的一阶强度序列和其时间涨落数据，包括： 获取复合衍射光斑分布数据的连续多帧傅里叶平面图像； 根据第一照明通道和第二照明通道的空间分布函数，通过图像分割算法，在多帧傅里叶平面图像中，提取与各照明通道对应的衍射光斑区域，计算得到各衍射光斑区域在各时刻的积分光强值； 根据积分光强值，按时间顺序构建各照明通道的光强响应序列，形成至少包括两个照明通道的一阶强度序列； 根据一阶强度序列和其时间涨落数据，通过通道分离和配准处理，计算得到各照明通道的实际二阶强度关联函数特征量，包括： 根据第一照明通道和第二照明通道的中心位置坐标和空间分布函数，通过空间定位算法，确定各照明通道在傅里叶平面的理论衍射位置； 对多帧傅里叶平面图像进行通道分离处理，通过图像分割算法识别各照明通道对应的衍射光斑区域，采用亚像素级配准算法，定位各衍射光斑区域的实际中心位置； 根据实际中心位置和理论衍射位置，通过位移校正算法对一阶强度序列进行修正，得到修正后一阶强度序列； 根据修正后一阶强度序列，通过互相关运算计算得到任意两个照明通道间的二阶强度关联函数，提取二阶强度关联函数的峰值、半高全宽、衰减时间常数和相干度作为特征参数； 根据特征参数，结合照明通道的相干特性和光强权重，通过归一化处理，得到实际二阶强度关联函数特征量； 将实际二阶强度关联函数特征量输入至预设的联合正向物理模型，通过迭代反演得到重构后的光栅复振幅分布和线边粗糙度功率谱参数，包括： 根据第一照明通道和第二照明通道的中心位置坐标、空间分布函数、相干特性和光强权重，基于标量衍射理论，构建编码照明下微纳光栅衍射的联合正向物理模型；根据联合正向物理模型，构建从光栅复振幅分布、线边粗糙度功率谱参数到理论二阶强度关联函数特征量的数学映射关系； 根据数学映射关系和实际二阶强度关联函数特征量，通过非线性最小二乘迭代反演算法，最小化理论二阶强度关联函数特征量和实际二阶强度关联函数特征量之间的残差，得到重构后的光栅复振幅分布和线边粗糙度功率谱参数； 根据重构后的光栅复振幅分布和线边粗糙度功率谱参数，计算得到当前坐标位置的光栅线偏差； 在采集复合衍射光斑分布数据之前，方法还包括： 进行相位编码调制，通过加载预设的相位掩模图案，对入射光的不同空间区域施加差异化相位延迟，生成第一照明通道，其中第一照明通道的相位分布根据相位掩模图案相位延迟分布进行调整； 进行振幅编码调制，通过加载预设的振幅掩模图案，对入射光的不同空间区域进行选择性透射，生成第二照明通道，其中第二照明通道的振幅分布通过振幅掩模图案的透射率分布进行调整； 根据第一照明通道和第二照明通道，生成多个具有预设空间频谱分布的并行照明通道，其中并行照明通道之间的相干特性互不相同，根据并行照明通道和相干特性，通过空间叠加生成结构化复合光场。

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