广东汇成真空科技股份有限公司李志方获国家专利权
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龙图腾网获悉广东汇成真空科技股份有限公司申请的专利一种光学镀膜工艺腔及其多腔室连续式真空镀膜机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120174329B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510447494.6,技术领域涉及:C23C14/56;该发明授权一种光学镀膜工艺腔及其多腔室连续式真空镀膜机是由李志方;李志荣;陈思设计研发完成,并于2025-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光学镀膜工艺腔及其多腔室连续式真空镀膜机在说明书摘要公布了:本发明公开了一种光学镀膜工艺腔及其多腔室连续式真空镀膜机,该光学镀膜工艺腔包括腔体,腔体设有出口和入口,腔体的出口和入口设置在腔体的相邻两个面上,在腔体的出口和入口所在面相交汇处相对的位置设置弧形腔壁,弧形腔壁所在圆周的中心与转架在腔体内的旋转中心重合,在弧形腔壁上设置镀膜组件,且弧形腔壁偏向腔体的一侧,而在另一侧预留出空间,作为配套装置安装壁。多腔室连续式真空镀膜机包括依次连接在一起的前处理腔、至少一个所述的光学镀膜工艺腔和后处理腔,前处理腔的入口和后处理腔的出口之间通过连接平台连接。本发明的镀膜效率高。
本发明授权一种光学镀膜工艺腔及其多腔室连续式真空镀膜机在权利要求书中公布了:1.一种多腔室连续式真空镀膜机,其特征在于:包括依次连接在一起的前处理腔、光学镀膜工艺腔和后处理腔,所述前处理腔的入口和所述后处理腔的出口之间通过连接平台连接,所述光学镀膜工艺腔包括腔体,所述腔体设有出口和入口,所述腔体的出口和入口设置在腔体的相邻两个面上,在所述腔体的出口和入口所在面相交汇处相对的位置设置弧形腔壁,所述弧形腔壁所在圆周的中心与转架在所述腔体内的旋转中心重合,在所述弧形腔壁上设置镀膜组件,且所述弧形腔壁偏向所述腔体的一侧,而在另一侧预留出空间,作为配套装置安装壁,多个镀膜组件在弧形腔壁的圆周上依次排布; 所述光学镀膜工艺腔的数量为两个,分别为第一光学镀膜工艺腔和第二光学镀膜工艺腔,所述前处理腔与所述第一光学镀膜工艺腔连接,所述后处理腔与所述第二光学镀膜工艺腔连接,且所述前处理腔和所述后处理腔位于同一侧。
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