艾瑞森表面技术(苏州)股份有限公司毛昌海获国家专利权
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龙图腾网获悉艾瑞森表面技术(苏州)股份有限公司申请的专利涂层的制备方法、涂层及燃料电池金属双极板获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119956305B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411969972.1,技术领域涉及:C23C14/35;该发明授权涂层的制备方法、涂层及燃料电池金属双极板是由毛昌海;宓保森;帅小锋设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本涂层的制备方法、涂层及燃料电池金属双极板在说明书摘要公布了:本发明提供了一种涂层的制备方法、涂层及燃料电池金属双极板,其中,涂层的制备方法,包括:步骤S20,将基体送入多靶磁控溅射仪腔体中,在基体上通过溅射沉积的方式制备Ti底层;步骤S30,在Ti底层的远离基体的一侧通过溅射沉积的方式制备过渡层,过渡层为TiON层;步骤S40,在过渡层的远离Ti底层的一侧通过溅射沉积的方式制备顶层,顶层为氮掺杂Magnéli相氧化钛层。应用本发明的技术方案能够有效地解决现有技术中燃料电池金属双极板的涂层的耐腐蚀性差的问题。
本发明授权涂层的制备方法、涂层及燃料电池金属双极板在权利要求书中公布了:1.一种涂层的制备方法,其特征在于,包括: 步骤S20:将基体1送入多靶磁控溅射仪腔体中,在所述基体1上通过溅射沉积的方式制备Ti底层10,其中,所述步骤S20包括: 步骤S21:将基体1送入多靶磁控溅射仪腔体中; 步骤S22:在第三预设时间内控制Ar气流量200sccm,控制Ti靶电流线性增加至5-10A之间; 步骤S23:在所述基体1上沉积30-60min; 步骤S30:在所述Ti底层10的远离所述基体1的一侧通过溅射沉积的方式制备过渡层20,所述过渡层20为TiON层,其中,所述步骤S30包括: 步骤S31:在第二预设时间内线性增加氮气流量在10-30sccm,线性增加氧气流量在20-40sccm之间,控制Ti靶电流在5-10A之间; 步骤S32:在所述Ti底层10上沉积30-60min; 步骤S40:在所述过渡层20的远离所述Ti底层10的一侧通过溅射沉积的方式制备顶层30,所述顶层30为氮掺杂Magnéli相氧化钛层,其中, 所述步骤S40包括: 步骤S41:在第一预设时间内控制氮气流量在20-40sccm之间,控制氧气流量在20-50sccm之间,控制Ti靶电流在5-10A之间,控制反应温度在500-750℃之间; 步骤S42:在所述TiON层上沉积60-150min; 步骤S43:溅射沉积后,在550℃-750℃的温度范围下退火处理1-2.5h,形成所述氮掺杂Magnéli相氧化钛层。
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