长春光华微电子设备工程中心有限公司帅智艳获国家专利权
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龙图腾网获悉长春光华微电子设备工程中心有限公司申请的专利卡盘承载台获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119780674B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411951093.6,技术领域涉及:G01R31/28;该发明授权卡盘承载台是由帅智艳;郑立功;徐明林;姜鑫;王纪彬;高跃红;王蕾;闫东设计研发完成,并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本卡盘承载台在说明书摘要公布了:本公开实施例提供了一种卡盘承载台,包括:第一基座、机架、载物盘以及驱动模组。所述第一基座上设置有第一安装槽,配置为提供竖直方向上的支持力;机架底部设置有旋转轴承,所述旋转轴承安装于所述第一安装槽内,与所述机架和所述第一基座活动连接,配置为使所述机架能够环绕所述竖直方向周向转动;载物盘设置于所述机架顶部,配置为承载探针等待检测件;所述驱动模组包括:驱动电机,用于为所述机架转动提供动力;转换机构,响应于所述驱动电机为所述转换机构提供动力,所述转换机构的一部分沿着所述旋转轴承的径向做直线运动,所述转换机构的另一部分沿着所述旋转轴承的周向做圆周运动,以带动所述机架相对于所述第一基座转动。
本发明授权卡盘承载台在权利要求书中公布了:1.一种卡盘承载台,其特征在于,包括: 第一基座,所述第一基座上设置有第一安装槽,配置为提供竖直方向上的支持力; 机架,底部设置有旋转轴承,所述旋转轴承安装于所述第一安装槽内,与所述机架和所述第一基座活动连接,配置为使所述机架能够环绕所述竖直方向周向转动; 载物盘,设置于所述机架顶部,配置为承载探针及待检测件; 驱动模组,分别与所述第一基座和所述机架连接,配置为驱动所述机架相对于所述第一基座发生转动,所述驱动模组包括: 驱动电机,用于为所述机架转动提供动力; 转换机构,响应于所述驱动电机为所述转换机构提供动力,所述转换机构的一部分沿着所述旋转轴承的径向做直线运动,所述转换机构的另一部分沿着所述旋转轴承的周向做圆周运动,以带动所述机架相对于所述第一基座转动, 其中,所述第一安装槽底面设有通孔,所述通孔贯穿所述第一基座,配置为避免所述第一基座表面应力集中,同时便于所述旋转轴承的安装定位; 所述转换机构包括滚动轴承座,所述滚动轴承座与所述第一基座固定连接,配置为为所述转换机构相对于所述第一基座的转动提供支点; 所述转换机构还包括:第一滑块组件,包括轴芯和第一连接件,所述轴芯设置于所述第一连接件,且至少部分延伸至所述滚动轴承座内,所述第一连接件的表面设置有第一滑动部; 第二基座,与所述机架固定连接; 丝杠,设置于所述第二基座,并沿第一方向延伸,所述丝杠上设置有可移动的第二滑块组件,所述驱动电机设置于所述丝杠的一端; 响应于所述驱动电机正转或反转,所述第二滑块组件在第一方向上向前或向后移动;所述第二滑块组件包括: 异形螺母,与所述丝杠连接,配置为在驱动电机的作用下沿着所述第一方向移动; 第二滑块,设置于所述异形螺母,所述第二滑块表面沿第二方向设置有第二滑动部,所述第二方向与所述第一方向垂直,所述第二滑动部与所述第一滑动部滑动连接。
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