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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利保持环和抛光头获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119188590B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411538296.2，技术领域涉及：B24B37/04；该发明授权保持环和抛光头是由商勇超;孟松林;王宇设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本保持环和抛光头在说明书摘要公布了：本申请公开一种保持环和抛光头，保持环包括：基体和与基体可分离的分体；基体和分体均为环状结构，基体的第一端被构造为与抛光头连接，分体的第一端与基体连接后，分体的第二端与基体的第二端位于同一平面内；基体和分体，用于在抛光头将晶圆置于抛光垫上以对晶圆进行抛光的过程中，对抛光垫施加压力。本申请通过设置可分离的分体，能够根据对不同规格的晶圆进行抛光的需求，对保持环与抛光垫的接触面积进行适应性改变，进而可以保证对晶圆的抛光效果。

本发明授权保持环和抛光头在权利要求书中公布了：1.一种保持环，应用于抛光头，其特征在于，包括：基体和与基体可分离的分体，两者均为环状结构，所述基体的第一端被构造为与抛光头连接，分体的第一端与基体连接后，分体的第二端与基体的第二端位于同一平面内，且分体的第一端位于基体第一端的下方，分体的第二端较基体的第二端远离保持环的中心；所述基体和分体，用于在抛光头将晶圆置于抛光垫上以对晶圆进行抛光的过程中，对抛光垫施加压力；沿基体的中心线方向，在基体上设置有至少两个通孔；沿分体的中心方向，在分体的第一端上设置有至少两个内螺纹孔，且内螺纹孔与通孔一一对应；所述基体与分体通过穿过通孔与内螺纹孔螺纹连接的螺栓连接；所述基体上设置有至少一个定位销，所述分体的第一端上设置有至少一个销孔，所述基体与分体连接后，每个销孔中嵌入一个定位销，且不同的销孔中嵌入不同的定位销；所述基体的第二端设置有第一沟槽，分体的第二端设置有第二沟槽，分体的第一端与基体连接后，第一沟槽和第二沟槽连通；所述第一沟槽和第二沟槽用于在对晶圆进行抛光的过程中引导抛光头下方抛光液；所述分体的至少部分内侧壁为圆锥面，圆锥面的内侧壁与分体的第一端邻接且与分体的中心线之间的夹角的取值范围为75°~85°；沿基体的第二端的外缘设置有第一凹圆弧形倒角，沿分体的第二端的内缘设置有第二凹圆弧形倒角；所述基体与分体连接后，第一凹圆弧形倒角和第二凹圆弧形倒角拼接为汇流槽，所述第一沟槽和第二沟槽均与汇流槽连通；所述基体的第二端的外圆半径和内圆半径的差值，与分体的第二端的外圆半径和内圆半径的差值的比值范围为0.5~2；所述基体为聚醚醚酮材质，分体为聚苯硫醚材质。

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