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龙图腾网获悉北京智芯微电子科技有限公司;浙江大学申请的专利半导体器件电性工艺参数确定方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119167847B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411344717.8，技术领域涉及：G06F30/33；该发明授权半导体器件电性工艺参数确定方法及装置是由陈燕宁;吴波;刘芳;金炫智;许凯;高大为;吴永玉;赵扬;邓永峰;郁文设计研发完成，并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体器件电性工艺参数确定方法及装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种半导体器件电性工艺参数确定方法及装置，属于器件制作技术领域。所述半导体器件电性工艺参数确定方法包括：获取器件制造工艺参数和当前设备状态数据；基于所述器件制造工艺参数，采用预置的工艺电性相关模型，确定得到电性参数，所述预置的工艺电性相关模型用于根据器件制造工艺参数信息确定出相关联的器件电性参数信息；基于所述当前设备状态数据，采用预置的不确定性模型，确定得到工艺电性波动范围，所述预置的不确定性模型用于根据设备状态，确定出设备状态对工艺波动的影响大小；基于所述电性参数和所述工艺电性波动范围，得到器件电性工艺参数。大大提高了工作效率，确定过程简单方便，可重复使用。

本发明授权半导体器件电性工艺参数确定方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体器件电性工艺参数确定方法，其特征在于，包括： 获取器件制造工艺参数和当前设备状态数据，所述器件制造工艺参数为在半导体器件制造工艺中，用于控制半导体器件特性和性能的各种参数，所述当前设备状态数据为当前半导体器件制作过程中所用的设备的状态数据； 基于所述器件制造工艺参数，采用预置的工艺电性相关模型，确定得到电性参数，所述预置的工艺电性相关模型用于根据器件制造工艺参数信息确定出相关联的器件电性参数信息； 基于所述当前设备状态数据，采用预置的不确定性模型，确定得到工艺电性波动范围，所述预置的不确定性模型用于根据设备状态，确定出设备状态对工艺波动的影响大小； 基于所述电性参数和所述工艺电性波动范围，得到器件电性工艺参数，所述器件电性工艺参数用于描述半导体器件的电性性能和特性； 其中，所述预置的不确定性模型的构建过程包括： 获取器件历史工艺波动数据，所述器件历史工艺波动数据包括多组波动数据，每一组波动数据包括：历史设备状态数据以及对应的工艺过程波动数据；其中，所述器件历史工艺波动数据是从制造执行系统中获取得到； 对所述器件历史工艺波动数据进行数据挖掘，得到关联关系，所述关联关系为设备状态与工艺波动的关联关系； 基于所述关联关系，采用不确定性包络模型描述设备状态对器件制造工艺波动的影响大小，得到不确定性模型； 其中，所述基于所述关联关系，采用不确定性包络模型描述设备状态对器件制造工艺波动的影响大小，得到不确定性模型，包括： 基于所述关联关系，构建不确定集U； 采用不确定性包络模型对不确定集合U进行范围描述，得到不确定性模型，所述不确定性包络模型为：构建线性规划问题为： ，其中，，表示决策变量的有界可行域，为约束左端含不确定参数的系数矩阵，为约束右端不确定性参数向量，为实数域，和分别表示不同的维度，为中的元素，为中的元素，对于第个约束，设与分别为： ， ， 其中，和分别为不确定参数的标称部分，所述不确定参数为设备状态数据，与分别为浮动幅度，由所述关联关系得到，与为波动的单位变量，为第个约束中受不确定性影响的参数集合，和分别表示第个约束上下限波动范围，即设备状态对工艺波动的影响大小。

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