先导薄膜材料(广东)有限公司李开杰获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种氧化铝锌靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119162547B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411295111.X，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种氧化铝锌靶材及其制备方法是由李开杰;王奇峰;陆洲;吴鸿毅;刘成龙设计研发完成，并于2024-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化铝锌靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于新材料技术领域，公开了一种氧化铝锌靶材的制备方法，将熔融的铝、锌混合的金属液和惰性气体混合并制备成为喷雾，所述喷雾和氧气混合进行氧化反应，制备得到氧化铝锌粉末；采用氧化铝锌粉末制备得到氧化铝锌靶材。该方法采用熔融金属液喷雾氧化的方法制备氧化铝锌粉末，相关的生产设备只需要一次投资即可长期使用，无需额外的昂贵试剂，其生产成本较低、工艺简单。
本发明授权一种氧化铝锌靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种氧化铝锌靶材的制备方法，其特征在于，将熔融的铝、锌混合的金属液和惰性气体混合并制备成为喷雾，所述喷雾和氧气混合进行氧化反应，制备得到氧化铝锌粉末；采用氧化铝锌粉末制备得到氧化铝锌靶材； 所述金属液中铝、锌的重量比为0.5～2：98～99.5； 所述金属液的熔融温度为900～1100℃； 所述金属液和惰性气体的体积比为1：1~2； 所述金属液和惰性气体形成的混合物的喷雾速度为18～22mLmin；氧气的流量为40Lmin～50Lmin。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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