中微半导体设备(上海)股份有限公司李文阁获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种涂层清洗方法及气体扩散装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118577574B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310188005.0，技术领域涉及：B08B7/00；该发明授权一种涂层清洗方法及气体扩散装置是由李文阁;孙祥设计研发完成，并于2023-03-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种涂层清洗方法及气体扩散装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种涂层清洗方法及气体扩散装置，涂层清洗方法包括：提供一待处理部件，所述待处理部件包括部件本体和覆盖于所述部件本体表面含钇或锆的耐腐蚀涂层；所述耐腐蚀涂层表面包括污染层，所述污染层中含有卤族元素；向所述污染层引入酸性气体或酸性蒸汽以与所述污染层发生反应；超声清洗、兆声清洗或者高压冲洗所述污染层，使所述污染层从所述耐腐蚀涂层表面脱落。控制气体的通入量和通入时间，能够使污染层被刚好被去除而不过多影响耐腐蚀涂层。
本发明授权一种涂层清洗方法及气体扩散装置在权利要求书中公布了：1.一种涂层清洗方法，其特征在于，包括： 提供一待处理部件，所述待处理部件包括部件本体和覆盖于所述部件本体表面含钇或锆的耐腐蚀涂层； 所述耐腐蚀涂层表面包括污染层，所述污染层中含有卤族元素； 向所述污染层供应酸性气体或酸性蒸汽以与所述污染层发生反应； 超声清洗、兆声清洗或者高压冲洗所述污染层，使所述污染层从所述耐腐蚀涂层表面脱落。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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