拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司宋宇获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请的专利一种臭氧传输系统及其控制方法和控制装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117346075B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311482287.1，技术领域涉及：F17D3/01；该发明授权一种臭氧传输系统及其控制方法和控制装置是由宋宇;高级;蔡东坡设计研发完成，并于2023-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种臭氧传输系统及其控制方法和控制装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种臭氧传输系统、控制方法及其控制装置。臭氧传输系包括：臭氧发生单元，用于提供臭氧；检测单元，用于检测所述臭氧发生单元及压力流量控制单元之间的臭氧浓度；以及所述压力流量控制单元，其输入端连接所述检测单元，其输出端连接多个不同气压状态的输出环境，用以根据连通的输出环境的实际气压，以及所述臭氧发生单元及压力流量控制单元之间的臭氧浓度，调节所述臭氧发生单元提供的臭氧流量，以使输出到所述连通的输出环境的臭氧浓度稳定在预设的目标浓度。通过上述臭氧传输系统能够在输出环境产生气压波动时，快速调节臭氧发生器内的臭氧浓度，减小浓度波动范围，获得更短的浓度调节稳定时长，从而提高臭氧供应浓度的稳定性。
本发明授权一种臭氧传输系统及其控制方法和控制装置在权利要求书中公布了：1.一种臭氧传输系统，其特征在于，包括： 臭氧发生单元，用于提供臭氧； 检测单元，设于所述臭氧发生单元和压力流量控制单元之间，用于检测所述臭氧发生单元及所述压力流量控制单元之间的臭氧浓度； 所述压力流量控制单元，其输入端连接所述检测单元，其输出端连接多个不同气压状态的输出环境，用以根据连通的输出环境的实际气压，以及所述臭氧发生单元及压力流量控制单元之间的臭氧浓度，调节所述臭氧发生单元提供的臭氧流量，以使输出到所述连通的输出环境的臭氧浓度稳定在预设的目标浓度，其中，各所述输出环境分别位于并联的支路上，所述输出环境包括反应腔室，且所述输出端连接所述反应腔室的第二支路上设有第二阀门；以及 气体过滤器，位于并联的所述第二支路上的所述第二阀门和所述反应腔室之间，用以过滤传输至所述反应腔室内的所述臭氧中的杂质。
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