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龙图腾网获悉天虹科技股份有限公司申请的专利具有开合式遮蔽装置的薄膜沉积机台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117248190B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210657845.2，技术领域涉及：C23C16/04；该发明授权具有开合式遮蔽装置的薄膜沉积机台是由林俊成;沈祐德设计研发完成，并于2022-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有开合式遮蔽装置的薄膜沉积机台在说明书摘要公布了：本发明提供一种具有开合式遮蔽装置的薄膜沉积机台，主要包括一反应腔体、一承载盘、一覆盖环及一遮蔽机构。遮蔽机构包括一第一承载臂、一第二承载臂、一第一遮蔽板及一第二遮蔽板，第一及第二遮蔽板分别放置在第一及第二承载臂上。第一及第二遮蔽板的底面与承载盘之间具有对应的对位机构，使得第一及第二遮蔽板可被定位并放置在承载盘上。第一及第二遮蔽板的顶面与覆盖环之间亦具有对应的对位机构，使得覆盖环可定位在第一及第二遮蔽板上，并于反应腔体内区隔出一清洁空间，以有利于清洁腔体及靶材。

本发明授权具有开合式遮蔽装置的薄膜沉积机台在权利要求书中公布了：1.一种具有开合式遮蔽装置的薄膜沉积机台，其特征在于，包括： 反应腔体，包括容置空间： 承载盘，位于该容置空间内，并包括承载面及若干个对位凸部，其中该承载面用以承载基板，而该对位凸部则位于该承载面的周围； 开合式遮蔽装置，包括： 第一承载臂，位于该容置空间内，包括若干个第一对位部； 第二承载臂，位于该容置空间内，包括若干个第二对位部； 第一遮蔽板，该第一遮蔽板的上表面包括第一弧形凹槽或第一弧形凸起，而该第一遮蔽板的下表面则包括若干个第三对位部及若干个第一对位凹部，该第一对位凹部位于该第三对位部的内侧，其中该第三对位部及该第一对位部用以对位该第一遮蔽板及该第一承载臂； 第二遮蔽板，该第二遮蔽板的上表面包括第二弧形凹槽或第二弧形凸起，而该第二遮蔽板的下表面则包括若干个第四对位部及若干个第二对位凹部，该第二对位凹部位于该第四对位部的内侧，其中该第四对位部及该第二对位部用以对位该第二遮蔽板及该第二承载臂；及 驱动装置，连接该第一承载臂及该第二承载臂，并分别通过该第一承载臂及该第二承载臂驱动该第一遮蔽板及该第二遮蔽板朝相反的方向摆动，使得该第一遮蔽板及该第二遮蔽板在开启状态及遮蔽状态之间切换，其中该遮蔽状态该第一遮蔽板及该第二遮蔽板分别通过该第一对位凹部及该第二对位凹部与该承载盘的该对位凸部对位，并以该第一遮蔽板及该第二遮蔽板遮蔽该承载盘的该承载面； 该第一承载臂包括第一弧形支撑架，用以承载该第一遮蔽板，而该第一对位部则位于该第一弧形支撑架上，该第二承载臂包括第二弧形支撑架，用以承载该第二遮蔽板，而该第二对位部则位于该第二弧形支撑架上，该第一遮蔽板及该第二遮蔽板操作在该遮蔽状态时，该第一弧形支撑架及该第二弧形支撑架形成环状支撑架，该第一弧形支撑架及该第二弧形支撑架形成的该环状支撑架的内侧具有开口，该开口的面积大于该承载盘的该承载面的面积； 该承载盘带动该第一遮蔽板及该第二遮蔽板离开该第一弧形支撑架及该第二弧形支撑架。

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