成都联江科技有限公司张钰获国家专利权
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龙图腾网获悉成都联江科技有限公司申请的专利紫外单倍率投影曝光物镜及光刻机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117234036B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210639195.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权紫外单倍率投影曝光物镜及光刻机是由张钰;朱红伟;邱盛平设计研发完成，并于2022-06-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本紫外单倍率投影曝光物镜及光刻机在说明书摘要公布了：本发明公开一种紫外单倍率投影曝光物镜及光刻机，紫外单倍率投影曝光物镜具有沿光轴方向呈相对设置的物侧和像侧，紫外单倍率投影曝光物镜包括光刻组件及观测组件，光刻组件包括从物侧至像侧设置的第一透镜组件及第二透镜组件；观测组件包括胶合分光棱镜和观测透镜组件，胶合分光棱镜具有棱镜光射入面与棱镜光射出面及观测光射出面，胶合分光棱镜设于第一透镜组件与第二透镜组件之间，以使棱镜光射出面正对第二透镜组件的光射入面，棱镜光射入面正对第一透镜组件的光射出面，观测透镜组件的光射入面正对观测光射出面设置，通过将从第二透镜组件反射回的光通过分光棱镜反射至观测透镜组件，实现对光刻机进行监控的同时还能做到体积小成本低。
本发明授权紫外单倍率投影曝光物镜及光刻机在权利要求书中公布了：1.一种紫外单倍率投影曝光物镜，其特征在于，所述紫外单倍率投影曝光物镜具有沿光轴方向呈相对设置的物侧和像侧，所述紫外单倍率投影曝光物镜包括： 光刻组件，包括从物侧至像侧依次设置的第一透镜组件及第二透镜组件；以及， 观测组件，包括胶合分光棱镜和观测透镜组件，所述胶合分光棱镜具有呈相背设置的棱镜光射入面与棱镜光射出面，及处于侧端的观测光射出面，所述胶合分光棱镜设于所述第一透镜组件与所述第二透镜组件之间，以使所述棱镜光射出面正对所述第二透镜组件的光射入面，所述棱镜光射入面正对所述第一透镜组件的光射出面，所述观测透镜组件的光射入面正对所述观测光射出面设置。
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