南昌大学;南昌硅基半导体科技有限公司郑畅达获国家专利权
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龙图腾网获悉南昌大学;南昌硅基半导体科技有限公司申请的专利一种RGB三色集成的Mini-LED芯片及其制造方法、显示面板获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116314481B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310130572.0,技术领域涉及:H10H20/01;该发明授权一种RGB三色集成的Mini-LED芯片及其制造方法、显示面板是由郑畅达;曹雷;王立;吴小明;莫春兰;陈芳;蒋恺;李璠;刘志华设计研发完成,并于2023-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种RGB三色集成的Mini-LED芯片及其制造方法、显示面板在说明书摘要公布了:本发明公开了一种RGB三色集成的Mini‑LED芯片及其制造方法、显示面板,该RGB三色集成的Mini‑LED芯片的制造方法包括刻蚀外延片获得分别含RGB三色的Mini‑LED阵列的外延片,在Mini‑LED阵列上制备P型反射电极层和第一粘结层,通过键合的方式依次将三种颜色的Mini‑LED阵列转移至支撑基板,沉积绝缘材料钝化侧壁并蒸发形成N型电极。本发明通过刻蚀一定厚度的硅衬底,在键合转移过程中,后转移的Mini‑LED阵列的硅衬底不会接触到已经转移的Mini‑LED阵列,实现大量Mini‑LED芯片的精准转移,有效解决键合转移过程中的对位精度和转移效率的问题。且在芯片制造过程中即可实现单个像素中RGB三色Mini‑LED芯片的集成,可简化后续的封装工艺,制程简单,降低了Mini‑LED的制造成本。
本发明授权一种RGB三色集成的Mini-LED芯片及其制造方法、显示面板在权利要求书中公布了:1.一种RGB三色集成的Mini-LED芯片的制造方法,其特征在于:包括以下步骤: S1:分别在三片硅衬底上生长三种颜色的外延层,获得三种颜色的外延片; S2:分别对三种颜色的外延片进行图形化处理,形成三种颜色的Mini-LED阵列;任意一种颜色的Mini-LED阵列中存在与另外两种颜色的Mini-LED阵列相同的对准键合标记; S3:分别在三种颜色的Mini-LED阵列上蒸发形成P型反射电极层和第一粘结层; S4:以第一粘结层为刻蚀掩膜,分别刻蚀三种颜色的外延片的非Mini-LED台面区域的硅衬底; S5:提供硅基板,在硅基板的表面蒸发形成第二粘结层; S6:将一种颜色的Mini-LED阵列通过键合的方法,转移至支撑基板上并去除硅衬底; S7:重复步骤S6两次,分别将另外两种颜色的Mini-LED阵列转移至支撑基板上并去除硅衬底; S8:腐蚀去除三种颜色的Mini-LED阵列边缘的外延层材料; S9:沉积绝缘材料,形成钝化膜; S10:蒸发形成N型电极; S11:切割阵列,获得一个个独立的RGBMini-LED芯片。
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