广州新视界光电科技有限公司徐华获国家专利权
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龙图腾网获悉广州新视界光电科技有限公司申请的专利一种金属氧化物薄膜晶体管及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116314343B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310275243.5，技术领域涉及：H10D30/67；该发明授权一种金属氧化物薄膜晶体管及其制备方法是由徐华;徐苗;李民;李洪濛;邹建华;陶洪;王磊设计研发完成，并于2023-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种金属氧化物薄膜晶体管及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种金属氧化物薄膜晶体管及其制备方法，所述金属氧化物薄膜晶体管的有源层上依次设置有沟道保护层和牺牲层；所述牺牲层为非晶形态的氧化物薄膜、氮化物薄膜、氮氧化物薄膜、氟化物薄膜或硫化物薄膜中的任意一种或至少两种的组合；制备方法中有源层、沟道保护层、牺牲层可连续沉积，而且可以实现一道刻蚀图形化，操作简单，制备成本低，实现了短沟道器件的制备，具有大规模工业化推广应用前景。
本发明授权一种金属氧化物薄膜晶体管及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种金属氧化物薄膜晶体管，其特征在于，所述金属氧化物薄膜晶体管的有源层上依次设置有沟道保护层和牺牲层；所述沟道保护层是由金属氧化物半导体薄膜AOxBOyReO构成，其中x+y+z=1,0＜z≤0.1； 其中元素A包括In，Ga或Sn中的任意一种或至少两种的组合；元素B包括Zn、Si、Al、Ti、Mg、Zr、Hf、Ta、Bi或Nb中的任意一种或至少两种的组合；元素Re包括Ce、Pr、Tb、Dy或Yb中的任意一种或至少两种的组合； 所述沟道保护层为稀土掺杂的氧化物薄膜，所述稀土离子同时含有两种价态； 所述牺牲层为非晶形态的A化合物薄膜，m+n=1；其中A为In、Ga、Zn、B、Si、Al、Ti、Mg、Mo、Zr、V、Hf、Ta、Nb中的任意一种或至少两种的组合，B为S、F、N中的任意一种或至少两种的组合； 所述牺牲层为非晶形态的氮化物薄膜、氟化物薄膜或硫化物薄膜中的任意一种或至少两种的组合。
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