先导薄膜材料(广东)有限公司苏紫珊获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利靶材的回收再利用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116275902B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310242989.6，技术领域涉及：B23P15/00；该发明授权靶材的回收再利用方法是由苏紫珊;蔡新志;童培云;朱刘设计研发完成，并于2023-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本靶材的回收再利用方法在说明书摘要公布了：本发明属于资源回收利用技术领域，具体公开了靶材的回收再利用方法。包括：对溅射后的靶材进行蚀刻曲线分析；根据蚀刻曲线，确定靶材的待回收区域；根据成品靶材的尺寸需求，线切割靶材的待回收区域，得到靶材块；将靶材块的溅射沟道加工平整，得到成品靶材。溅射后的靶材可直接加工成能再次利用的成品靶材，降低了靶材的生产制造成本。
本发明授权靶材的回收再利用方法在权利要求书中公布了：1.一种靶材的回收再利用方法，其特征在于，靶材在溅射使用后，在靶材的表面形成溅射沟道，溅射沟道呈现环形的波浪起伏形状，包括： 对溅射后的靶材进行蚀刻曲线分析；根据蚀刻曲线，确定靶材的待回收区域； 根据溅射后的靶材的溅射沟道最大深度，确定成品圆靶材的尺寸；根据成品圆靶材的尺寸，线切割靶材的待回收区域，得到靶材块； 将靶材块的溅射沟道加工平整，得到成品圆靶材。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人先导薄膜材料(广东)有限公司，其通讯地址为：511518 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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