南方科技大学黄博远获国家专利权
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龙图腾网获悉南方科技大学申请的专利原子力显微镜原位测试薄膜样品的制样装置、系统、方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116243020B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211580757.3,技术领域涉及:G01Q30/20;该发明授权原子力显微镜原位测试薄膜样品的制样装置、系统、方法是由黄博远;刘凯鑫;张凤元;李江宇设计研发完成,并于2022-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本原子力显微镜原位测试薄膜样品的制样装置、系统、方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种原子力显微镜原位测试薄膜样品的制样装置、系统、方法,制样装置包括:绝缘树脂体,第一电极,第二电极,第一导线以及第二导线。第一电极和第二电极夹持薄膜;第一宽端、第二宽端以及薄膜靠近第一宽端的一侧,均平齐于绝缘树脂体的表面;在垂直于薄膜的方向上,第一宽端和第二宽端对应设置,且第一窄端和第二窄端错开设置。当第一电极和第二电极分别连接在薄膜两侧时,第一宽端和第二宽端相对应设置,第一窄端和第二窄端是相互错开的,从而确保引出电极时不会相互干扰。通过薄膜与本申请的制样装置形成薄膜样品,以供原子力显微镜进行测试,确保了获取更多薄膜样品微观结构信息。
本发明授权原子力显微镜原位测试薄膜样品的制样装置、系统、方法在权利要求书中公布了:1.一种原子力显微镜原位测试薄膜样品的制样装置,其特征在于,其包括: 绝缘树脂体; 第一电极和第二电极,嵌设在所述绝缘树脂体内;所述第一电极的两端分别为第一宽端和第一窄端,所述第二电极的两端分别为第二宽端和第二窄端; 第一导线,与所述第一窄端连接,并延伸至所述绝缘树脂体外; 第二导线,与所述第二窄端连接,并延伸至所述绝缘树脂体外; 其中,所述第一电极和所述第二电极间隔设置,以夹持薄膜; 所述第一宽端、所述第二宽端以及所述薄膜靠近所述第一宽端的一侧,均平齐于所述绝缘树脂体的表面; 在垂直于所述薄膜的方向上,所述第一宽端和所述第二宽端对应设置,且所述第一窄端和所述第二窄端错开设置。
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