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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种基板减薄工作台、基板减薄装置和基板减薄方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116175367B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211694371.5，技术领域涉及：B24B27/02；该发明授权一种基板减薄工作台、基板减薄装置和基板减薄方法是由刘远航;马旭;韩晓铠;路新春设计研发完成，并于2022-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基板减薄工作台、基板减薄装置和基板减薄方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基板减薄工作台、基板减薄装置和基板减薄方法，所述基板减薄工作台包括：转台；吸盘，其设置于所述转台上部，以承载待处理基板；冲洗组件，其设置于所述吸盘上侧，以冲洗吸盘表面；刷洗组件，其包括摆臂和刷洗头，所述摆臂的一端转动连接于所述转台的外侧，其另一端配置有刷洗头；所述刷洗头包括刷洗基座、刷体和驱动电机，所述驱动电机固定于所述刷洗基座，其输出轴连接于所述刷体，以刷洗吸盘表面；所述刷洗基座的上表面配置有环形槽，所述环形槽与外部的真空源连通；所述环形槽的内部设置有流体通道，所述流体通道沿所述刷洗基座的厚度方向贯通设置，所述流体通道能够吸附吸盘表面的颗粒物。

本发明授权一种基板减薄工作台、基板减薄装置和基板减薄方法在权利要求书中公布了：1.一种基板减薄工作台，其特征在于，包括： 转台； 吸盘，其设置于转台上部，以承载待处理基板； 冲洗组件，其设置于吸盘上侧，以冲洗吸盘表面； 刷洗组件，其包括摆臂和刷洗头，所述摆臂的一端转动连接于转台的外侧，其另一端配置有刷洗头； 所述刷洗头包括刷洗基座、刷体和驱动电机，所述驱动电机固定于刷洗基座，其输出轴连接于刷体，以刷洗吸盘表面；所述刷洗基座的上表面配置有环形槽，所述环形槽与外部的真空源连通；所述环形槽的内部设置有流体通道，所述流体通道沿刷洗基座的厚度方向贯通设置，所述流体通道能够吸附吸盘表面的颗粒物； 所述刷洗基座的底面包括第一区域和第二区域，所述摆臂绕定点摆动的过程中，刷洗基座的第一区域扫掠基板边缘缺口处的对应位置；所述第一区域中流体通道的分布密度大于第二区域中流体通道的分布密度，以清洁基板边缘缺口处的对应位置；所述第一区域的面积占刷洗基座底面积的110至16，且第一区域中流体通道的内径小于第二区域中流体通道的内径的12； 所述刷洗基座的下部的中间位置设置有凹槽，所述刷体同心设置于该凹槽；刷洗基座配置有自上而下延伸的竖向通道，其末端与径向通道相连通；所述径向通道的末端配置有斜向孔，其朝向凹槽的内侧壁设置；所述斜向孔朝向刷体与凹槽之间的间隙设置，以朝向该间隙喷射流体； 所述刷洗基座为柱状结构，所述凹槽的外形及尺寸与刷体的外形及尺寸相匹配；所述流体通道沿竖直方向设置，其上端口连接于环形槽，其下端口位于刷洗基座的下表面。

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