应用材料公司阿什利·奥卡达获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利压电位置控制流量比率控制获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115885221B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180051320.8，技术领域涉及：G05D7/06；该发明授权压电位置控制流量比率控制是由阿什利·奥卡达;徐明设计研发完成，并于2021-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本压电位置控制流量比率控制在说明书摘要公布了：一种方法包括对于第一管道，接收第一压力值，第一压力值对应于耦合至此第一管道的第一阀的第一阀位置。此方法进一步包括对于与此第一管道平行地路由route的第二管道，接收第二压力值，第二压力值对应于耦合至此第二管道的第二阀的第二阀位置。此方法进一步包括基于此第一阀位置、此第一压力值、此第二阀位置和此第二压力值产生流体传导图。此方法进一步包括由处理装置基于配方和此流体传导图引起此第一阀处于第一阀位置且此第二阀处于第二阀位置，以用于此配方的工艺。
本发明授权压电位置控制流量比率控制在权利要求书中公布了：1.一种用于流量比率控制的方法，所述方法包含以下步骤： 对于第一管道，接收第一多个压力值，所述第一多个压力值对应于耦合至所述第一管道的第一阀的第一多个阀位置； 对于与所述第一管道平行地路由的第二管道，接收第二多个压力值，所述第二多个压力值对应于耦合至所述第二管道的第二阀的第二多个阀位置； 基于所述第一多个压力值、所述第一多个阀位置、所述第二多个压力值和所述第二多个阀位置，产生流体传导比率的模型； 基于所述流体传导比率的模型，产生流体传导图；和 由处理装置基于配方和所述流体传导图，引起所述第一阀处于第一阀位置且所述第二阀处于第二阀位置，以用于所述配方的工艺。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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