杭州富芯半导体有限公司王松获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州富芯半导体有限公司申请的专利一种光刻机静电检测光罩及检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115877110B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211708606.1，技术领域涉及：G01R31/00；该发明授权一种光刻机静电检测光罩及检测方法是由王松设计研发完成，并于2022-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机静电检测光罩及检测方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种光刻机静电检测光罩及检测方法，光刻机静电检测光罩包括第一极板、第二极板及导电柱，在采用光罩检测机对光刻机静电检测光罩进行第一检测，获取关于光刻机静电检测光罩的第一检测信息后，于待检测的光刻机中，以光刻机静电检测光罩作为掩膜版进行光刻流程，再采用光罩检测机，对光刻机静电检测光罩进行第二检测，以获取关于光刻机静电检测光罩的第二检测信息，从而通过对第一检测信息及第二检测信息的对比，即可判定光刻机的静电状态，以检测光刻机是否产生静电放电的问题，从而通过对光刻机的调整，可避免对晶圆及光罩的损伤，以节约财力及物力。
本发明授权一种光刻机静电检测光罩及检测方法在权利要求书中公布了：1.一种光刻机静电检测光罩，其特征在于，所述光刻机静电检测光罩包括第一极板101、第二极板102及位于所述第一极板101及所述第二极板102之间的导电柱201、202、203、204、205、206、207、208、209、210，且所述导电柱201、202、203、204、205、206、207、208、209、210的两端分别与所述第一极板101及所述第二极板102连接；所述导电柱201、202、203、204、205、206、207、208、209、210包括多个，且多个所述导电柱201、202、203、204、205、206、207、208、209、210具有不同宽度，每个所述导电柱所承受的击穿电压具有不同的范围，以构成静电检测单元10；当某个导电柱发生断丝或变形现象时，判定存在静电放电，根据导电柱的具体位置，可估量静电放电的大小。
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