买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种用于化学机械抛光的承载头、抛光系统和抛光方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115741427B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211530232.9，技术领域涉及：B24B29/02；该发明授权一种用于化学机械抛光的承载头、抛光系统和抛光方法是由孟松林;王宇;温世乾;赵德文设计研发完成，并于2022-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于化学机械抛光的承载头、抛光系统和抛光方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于化学机械抛光的承载头、抛光系统和方法方法，所述承载头包括承载盘、弹性膜和保持环，所述弹性膜设置于承载盘的下方，所述保持环设置于弹性膜的外周侧并位于承载盘的底部；所述弹性膜包括底板部、直立部、水平部和褶皱部，所述底板部为盘状结构，直立部沿所述底板部的外缘竖直向上延伸，所述水平部自所述直立部的顶端水平向内延伸，所述褶皱部设置于直立部的上方，且其边缘设置于承载盘与保持环之间；还包括检测件和调节件，所述检测件和调节件相邻设置并位于所述褶皱部的下方；所述检测件测量所述褶皱部的应力信息，所述调节件基于检测件的测量值调节褶皱部的应力，使得褶皱部构成的腔室沿圆周方向的变形均匀。

本发明授权一种用于化学机械抛光的承载头、抛光系统和抛光方法在权利要求书中公布了：1.一种用于化学机械抛光的承载头，其特征在于，包括承载盘、弹性膜和保持环，所述弹性膜设置于承载盘的下方，保持环设置于弹性膜的外周侧并位于承载盘的底部； 所述弹性膜包括底板部、直立部、水平部和褶皱部，底板部为盘状结构，直立部沿底板部的外缘竖直向上延伸，水平部自直立部的顶端水平向内延伸，褶皱部设置于直立部的上方，且其边缘设置于承载盘与保持环之间； 还包括检测件和调节件，所述检测件和调节件相邻设置并位于褶皱部的下方，两者沿褶皱部的周向均匀设置且位于直立部的上方；所述检测件测量褶皱部的应力信息，所述调节件基于检测件的测量值调节褶皱部的应力，使得褶皱部构成的腔室沿圆周方向的变形均匀； 所述褶皱部包括竖向筋和弯折筋，竖向筋自直立部向上延伸设置，弯折筋为开口向外的折边结构，弯折筋的边缘连接于承载盘与保持环之间；所述检测件和调节件设置于竖向筋的内侧且位于弯折筋的下方；所述竖向筋的壁厚小于直立部的壁厚，所述检测件和调节件通过柔性连接件设置于弯折筋的下方，其底部朝向直立部设置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华海清科股份有限公司，其通讯地址为：300350 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。