安徽光智科技有限公司朱同波获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽光智科技有限公司申请的专利一种超厚碲锌镉晶体的切割方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115534145B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211259226.4,技术领域涉及:B28D5/00;该发明授权一种超厚碲锌镉晶体的切割方法是由朱同波;张伟;许畅;邹洋洋;田强设计研发完成,并于2022-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超厚碲锌镉晶体的切割方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种超厚碲锌镉晶体的切割方法,包括:S1、取碲锌镉晶圆和两片载片,进行洁净处理后,以熔化的石蜡作为粘结剂,按照载片‑晶圆‑载片制成三明治组合结构;S2、将三明治组合结构固定于UV膜上,UV膜通过吸附固定于工作台上,用刀片沿着厚度方向进行多次分步切割,完成对晶圆的切割,获得所需尺寸的晶圆。该切割方法所切割的产品的崩边明显降低,垂直度提高,且表面质量好,产品的成品率和原料利用率都有效提高。
本发明授权一种超厚碲锌镉晶体的切割方法在权利要求书中公布了:1.一种超厚碲锌镉晶体的切割方法,其特征在于,包括: S1、取碲锌镉晶圆和两片载片,进行洁净处理后,以熔化的石蜡作为粘结剂,按照载片晶圆-载片制成三明治组合结构; S2、将三明治组合结构固定于UV膜上,UV膜通过吸附固定于工作台上,用刀片沿着厚度方向进行多次分步切割,完成对晶圆的切割,获得所需尺寸的晶圆; 所述刀片上设有用于碎屑排出和散热的切口;所述刀片包括一体成型的切割刀片本体和支撑部,所述切割刀片本体的材质为树脂粘结的烧结金刚石,所述支撑部的材质为刚性材料,且所述刚性材料的刚度大于烧结金刚石; 步骤S2中,所述多次分步切割过程中,每次切割的深度为0.3-0.5mm,切割速度为0.8-1.2mms; 所述UV膜的厚度为0.25-0.35mm。
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