无锡沧海云帆电子科技有限公司金阳获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡沧海云帆电子科技有限公司申请的专利带通孔逻辑器件及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115483175B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211115077.4,技术领域涉及:H10W20/20;该发明授权带通孔逻辑器件及其制作方法是由金阳设计研发完成,并于2022-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本带通孔逻辑器件及其制作方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种带通孔逻辑器件及其制作方法,该带通孔逻辑器件包括带通孔的器件基础结构;所述器件基础结构上设有满足预设流动性条件的填充材料形成的填充层;所述填充层上设有第一预设厚度的氧化层。本发明通过使用满足预设流动性条件的填充材料对通孔进行填充,能够避免使用填充后平坦化工艺的情况下,提高填充层表面的平整度,更加便捷的实现了小节点逻辑器件的通孔填充以及逻辑器件后续的制作。
本发明授权带通孔逻辑器件及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种带通孔逻辑器件,其特征在于,包括: 带通孔的器件基础结构;所述通孔为90nm以下节点的通孔; 所述器件基础结构上设有满足预设流动性条件的填充材料形成的填充层; 所述填充层上设有第一预设厚度的氧化层,所述氧化层用于避免底部反射在带通孔逻辑器件的表面造成影响; 所述填充层包括:与所述通孔结构相同的填充体; 所述填充体设置在所述通孔内; 所述带通孔逻辑器件还包括:第二预设厚度的连接层; 所述第二预设厚度的连接层设置在所述氧化层上。
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