南方科技大学叶怀宇获国家专利权
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龙图腾网获悉南方科技大学申请的专利一种晶圆封装及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115394741B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210839226.5，技术领域涉及：H10W72/00；该发明授权一种晶圆封装及其制作方法是由叶怀宇;李世朕;刘旭;张国旗设计研发完成，并于2022-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆封装及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆封装及其制作方法，晶圆封装包括：第一晶圆、第二晶圆以及设置在所述第一晶圆与所述第二晶圆之间的互连层；其中，所述互连层包括碳纳米管束框架以及填充于所述碳纳米管束框架内的微纳米金属。本发明通过采用碳纳米管束框架与微纳米金属构成的互连层来连接第一晶圆与第二晶圆，能够保证两晶圆之间的连接强度，且能够满足晶圆之间互连区域的导电导热性要求，从而能够满足大功率器件在更高的温度、更大的电流密度等更加苛刻的环境下进行服役，提高了大功率器件的可靠性。
本发明授权一种晶圆封装及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆封装制作方法，其特征在于，包括： 提供第一晶圆与第二晶圆； 分别在所述第一晶圆底面以及所述第二晶圆的顶面进行金属化镀层处理，以在所述第一晶圆的底面形成第一金属镀层，并在所述第二晶圆的顶面形成第二金属镀层； 采用催化剂并通过沉积的方式在所述第一金属镀层上形成第一催化层；采用催化剂并通过沉积的方式在所述第二金属镀层上形成第二催化层； 在所述第一晶圆与所述第二晶圆之间制备碳纳米管束框架，其包括采用含碳气体在所述第一晶圆的表面自下而上定向形成若干间隔分布的第一碳纳米管束，并采用含碳气体在所述第二晶圆的表面自下而上定向形成若干间隔分布的第二碳纳米管束；将所述第一晶圆与所述第二晶圆连接在一起，以使所述第一碳纳米管束插入所述第二碳纳米管束的间隙中，形成碳纳米管束框架； 基于毛细作用将微纳米金属烧结膏体填充至所述碳纳米管束框架内； 将多余的微纳米金属烧结膏体去除后进行加热处理以使微纳米金属连接在所述第一晶圆与所述第二晶圆之间。
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