株式会社荏原制作所佐佐木慎一郎获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利真空排气方法及真空排气系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114962211B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210105818.4，技术领域涉及：F04B37/14；该发明授权真空排气方法及真空排气系统是由佐佐木慎一郎;穂积崇史;盐川笃志设计研发完成，并于2022-01-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空排气方法及真空排气系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种能够抑制副生成物的生成并解决伴随非活性气体的导入的问题的真空排气方法及真空排气系统。真空排气方法包含如下工序：在使真空泵装置DP起动之后，使真空泵装置DP的转速上升至规定的稳定速度的上升工序；以及在真空泵装置DP的转速到达稳定速度之后，向真空泵装置DP导入非活性气体的气体导入工序。
本发明授权真空排气方法及真空排气系统在权利要求书中公布了：1.一种真空排气方法，通过真空泵装置对真空腔室进行排气，该真空排气方法的特征在于，包含如下工序： 上升工序，在使所述真空泵装置起动之后，使所述真空泵装置的转速上升至规定的稳定速度；以及 气体导入工序，在所述真空泵装置的转速到达所述稳定速度之后，向所述真空泵装置导入非活性气体， 所述真空排气方法包含如下工序： 第一导入工序，通过从与所述真空泵装置连接的非活性气体供给线路分支的旁通线路将包含零流量的第一流量的非活性气体导入所述真空泵装置；以及 第二导入工序，将大于所述第一流量的第二流量的非活性气体导入所述真空泵装置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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