VG系统有限公司;FEI公司B·巴纳德获国家专利权
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龙图腾网获悉VG系统有限公司;FEI公司申请的专利用于能谱技术的带电粒子检测获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114616460B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080075585.7,技术领域涉及:G01N23/227;该发明授权用于能谱技术的带电粒子检测是由B·巴纳德;P·斯特吉斯卡尔设计研发完成,并于2020-11-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于能谱技术的带电粒子检测在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于在能谱分析中检测带电粒子的方法和设备。使以带电粒子束的形式从能量色散能谱分析仪接收到的带电粒子朝检测器加速。在检测像素阵列处接收经加速的带电粒子,所述检测像素阵列形成所述检测器。到达所述检测器处的所述带电粒子在能量色散方向上扩散。
本发明授权用于能谱技术的带电粒子检测在权利要求书中公布了:1.一种用于在X射线光电子能谱分析中检测光电子的方法,所述方法包括: 使以光电子束的形式从静电能量色散能谱分析仪接收到的光电子朝检测器加速;以及 在检测像素阵列处接收经加速的光电子,所述检测像素阵列形成所述检测器,其中到达所述检测器处的所述光电子在能量色散方向上扩散,使得每个光电子在表示所述光电子的能量的检测像素列处入射在所述检测器处。
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