佳能株式会社荒井一浩获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能株式会社申请的专利基板保持板和曝光装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114563925B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111417544.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权基板保持板和曝光装置是由荒井一浩;福井慎次;龙野俊直设计研发完成，并于2021-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板保持板和曝光装置在说明书摘要公布了：本发明涉及基板保持板和曝光装置。基板保持板具有基板保持表面。基板保持板包括：基部；和突起，所述突起相对于基部设置在基板保持表面侧并且支撑基板。至少突起的最上表面是粗糙表面。基部或突起具有第一部分。突起具有硬度比第一部分的硬度高的第二部分。第二部分设置在与粗糙表面的顶部相距距离D的范围内。距离D小于该顶部和与该顶部相邻的底部之间的高度差H。
本发明授权基板保持板和曝光装置在权利要求书中公布了：1.一种具有基板保持表面的基板保持板，包括： 基部；和 突起，所述突起相对于所述基部设置在基板保持表面侧并且支撑基板， 其中，所述基部和所述突起中的每一个的最上表面是算术平均粗糙度Ra为0.4μm以上的粗糙表面， 其中，所述基部或所述突起具有第一部分， 其中，至少所述突起具有硬度比所述第一部分的硬度高的第二部分， 其中，所述第二部分设置在与所述粗糙表面的顶部相距距离D的范围内，并且 其中，所述距离D小于所述顶部和与所述顶部相邻的底部之间的高度差H。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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