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龙图腾网获悉株式会社日本制钢所申请的专利激光照射设备、激光照射方法和用于制造半导体装置的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114374138B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111199213.8，技术领域涉及：H01S3/08；该发明授权激光照射设备、激光照射方法和用于制造半导体装置的方法是由今村博亮设计研发完成，并于2021-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本激光照射设备、激光照射方法和用于制造半导体装置的方法在说明书摘要公布了：一种激光照射设备，其包括：激光光源，其构造成发射线性偏振的脉冲激光；第一半波片，其可旋转地设于所述脉冲激光的光路中；第一偏振分束器，其构造成使来自第一半波片的所述脉冲激光分支为第一脉冲光和第二脉冲光；第二偏振分束器，其构造成将第一脉冲光与第二脉冲光进行组合，第二脉冲光通过利用第一脉冲光与第二脉冲光之间的光路长度差而相对于第一脉冲光延迟；以及第一波片，其可旋转地设于组合脉冲激光的光路中，所述组合脉冲激光通过在第二偏振分束器处将第一脉冲光与第二脉冲光进行组合而产生。

本发明授权激光照射设备、激光照射方法和用于制造半导体装置的方法在权利要求书中公布了：1.一种激光照射设备，所述激光照射设备包括： 激光光源，其构造成发射线性偏振的脉冲激光； 第一半波片，其可旋转地设于所述脉冲激光的光路中； 第一偏振分束器，其构造成使来自所述第一半波片的所述脉冲激光分支为第一脉冲光和第二脉冲光； 第二偏振分束器，其构造成将所述第一脉冲光与所述第二脉冲光进行组合，所述第二脉冲光通过利用所述第一脉冲光与所述第二脉冲光之间的光路长度差而相对于所述第一脉冲光延迟； 第一波片，其可旋转地设于组合脉冲光的光路中，所述组合脉冲光通过在所述第二偏振分束器处将所述第一脉冲光与所述第二脉冲光进行组合而产生； 第二波片，其可旋转地设于所述第一脉冲光的从所述第一偏振分束器到所述第二偏振分束器的光路中； 第三波片，其可旋转地设于所述第二脉冲光的从所述第一偏振分束器到所述第二偏振分束器的光路中； 部分透射镜，其构成为提取所述组合脉冲光的、透射穿过所述第一波片的一部分；以及 光检测器，其构造成检测来自所述部分透射镜的所述组合脉冲光， 所述第一波片是半波片或四分之一波片， 其中，所述第二波片和所述第三波片中的一者是半波片，而所述第二波片和所述第三波片中的另一者是四分之一波片或半波片，并且 其中，所述第二波片及所述第三波片的旋转角度能够被调节，以使得通过所述光检测器检测到的检测光量变为最大，并且在所述第二波片及所述第三波片的旋转角度的调节完成之后，所述第一波片的旋转角度能够被调节。

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