上海稷以科技有限公司郑长吉获国家专利权
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龙图腾网获悉上海稷以科技有限公司申请的专利一种用于晶圆制造的感应装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224098139U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520675721.6，技术领域涉及：H10P74/20；该实用新型一种用于晶圆制造的感应装置是由郑长吉;刘亚宁;张志强设计研发完成，并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆制造的感应装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于晶圆制造的感应装置，包括反射传感器，反射传感器的发射端和接收端设置在同一侧，且在发射端和接收端的对侧设有反光镜，所述反射传感器和反光镜安装在载台边缘靠近晶圆卡塞的一侧。晶圆未凸出时，发射端光线经反光镜反射至接收端；晶圆凸出时，光线经凸出晶圆反射至接收端，接收端依不同模拟光亮信号判断晶圆是否凸出，可识别透明及不透明晶圆。该装置还包括信号处理模块等。本实用新型解决了现有光感传感器无法识别透明晶圆凸出的问题，能够识别透明及不透明晶圆是否凸出，具有兼容性强、检测精度高、结构简单、提高生产安全性和效率等优点。
本实用新型一种用于晶圆制造的感应装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆制造的感应装置，其特征在于：包括反射传感器，反射传感器的发射端和接收端设置在同一侧，且在发射端和接收端的对侧设有反光镜，所述反射传感器和反光镜安装在载台边缘靠近晶圆卡塞的一侧；当晶圆未凸出时，发射端发射的光线通过所述反光镜反射至接收端，当晶圆凸出时，发射端发射的光线通过凸出的晶圆反射至接收端，接收端根据接收到的不同模拟光亮信号判断晶圆是否凸出，该感应装置可识别透明及不透明晶圆。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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