绍兴君万微电子科技有限公司李燚雷获国家专利权
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龙图腾网获悉绍兴君万微电子科技有限公司申请的专利一种光刻专用兼容6寸与8寸花篮倒片器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224098121U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520800288.4，技术领域涉及：H10P72/50；该实用新型一种光刻专用兼容6寸与8寸花篮倒片器是由李燚雷;张雪锋;傅建良;魏义志设计研发完成，并于2025-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻专用兼容6寸与8寸花篮倒片器在说明书摘要公布了：一种光刻专用兼容6寸与8寸花篮倒片器，包括底座；所述底座一端上方连接有支撑块；所述支撑块端部可拆卸有用于对晶圆进行倒片的弧形挡板；所述底座上开设有8寸花篮定位槽以及6寸花篮定位槽。本实用新型设置有8寸花篮定位槽以及6寸花篮定位槽，可以对8寸花篮以及6寸花篮进行定位，使得两个花篮之间精准对位，倒片时将两个花篮口对口放置于槽内，将花篮往里平推即可通过弧形挡板实现晶圆的转移，弧形挡板与晶圆侧面实现紧密贴合，避免晶圆转动；有定位槽的原因，避免了花篮的晃动，减少了划伤情况。
本实用新型一种光刻专用兼容6寸与8寸花篮倒片器在权利要求书中公布了：1.一种光刻专用兼容6寸与8寸花篮倒片器，其特征在于：包括底座1；所述底座1一端上方连接有支撑块2；所述支撑块2端部可拆卸有用于对晶圆进行倒片的弧形挡板4；所述底座1上开设有8寸花篮定位槽5以及6寸花篮定位槽6；所述支撑块2端部开设有竖向插接槽11；所述弧形挡板4插接于竖向插接槽11内；所述支撑块2中部内侧还开设有横向滑孔12；所述横向滑孔12内横向滑动连接有横向滑块13；所述横向滑块13一端连接有横向插接杆14，另一端安装有弹簧15；所述弧形挡板4其靠近横向插接杆14侧开设有定位插接孔16；所述横向插接杆14外端穿过支撑块2而插接于定位插接孔16内；所述弹簧15一端抵靠于横向滑孔12的底壁上，另一端安装于横向滑块13上；所述支撑块2外侧开设有与横向滑孔12相通的横向限位滑槽17；所述横向滑块13侧边连接有与横向限位滑槽17相对应的推杆18；所述推杆18横向滑动连接于横向限位滑槽17上，且推杆18外端穿过横向限位滑槽17而裸露于支撑块2外侧。
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