江苏凯迪微技术股份有限公司江永获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏凯迪微技术股份有限公司申请的专利一种用于撕金去胶的高压腔室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224098100U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520773312.X，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种用于撕金去胶的高压腔室是由江永设计研发完成，并于2025-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于撕金去胶的高压腔室在说明书摘要公布了：本实用新型公开了半导体加工设备领域的一种用于撕金去胶的高压腔室，旨在解决现有撕金去胶工艺中雾气外溢、风道堵塞及金属回收率低等问题。该高压腔室以底板为基础，设置固定的防溅腔室，其外侧开有若干与内部导通的排风口，经排风管与底板底部导通，腔室内设排水口并安装滤网。防溅腔室周向连接可升降的升降防溅环，其内壁设内防溅环遮挡排风口，形成夹层。腔室内有用于定位放置硅片的清洗盘，由底板底部的驱动组件控制转动。工艺时，雾气从内防溅环下端进入夹层再通往排风口，优化了排风流场，避免雾气积聚，提高排风效率，同时拦截金属碎屑，降低风道堵塞风险，有效提高金属回收率。
本实用新型一种用于撕金去胶的高压腔室在权利要求书中公布了：1.一种用于撕金去胶的高压腔室，包括底板，其特征在于： 所述底板上设置有固定的防溅腔室，所述防溅腔室的外侧开设有若干与内部导通的排风口，所述排风口通过排风管与底板的底部导通，所述防溅腔室内还设置有位于底板上的排水口，所述排水口安装有用于过滤的滤网； 所述防溅腔室周向连接可升降移动的升降防溅环，所述升降防溅环的内壁设置有向中部延伸用于遮挡排风口的内防溅环； 所述防溅腔室内设置有用于定位放置硅片的清洗盘，所述清洗盘位于内防溅环的内侧，所述清洗盘通过安装在底板底部的驱动组件控制转动； 所述底板上设置有用于清洗硅片的去胶液清洗组件和清洗液清洗组件，所述去胶液清洗组件和清洗液清洗组件设置于防溅腔室的外围。
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