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上海宏轶电子科技有限公司黄运军获国家专利权

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龙图腾网获悉上海宏轶电子科技有限公司申请的专利一种晶圆切割后的扩膜及割刀装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224098093U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520694007.1,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型一种晶圆切割后的扩膜及割刀装置是由黄运军设计研发完成,并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆切割后的扩膜及割刀装置在说明书摘要公布了:一种晶圆切割后的扩膜及割刀装置,属于晶圆生产辅助设备技术领域,包括PLC、限位环、机架,还具有内环台盘机构、外环台盘机构、切刀机构;限位环、内环台盘机构、外环台盘机构、切刀机构和机架安装在一起,内环台盘机构包括气缸、固定板、外限位环圈、顶板、丝杠驱动电机、直线轴承,直线轴承、气缸分别有多套,外环台盘机构包括气缸A、直线轴承A、伺服电机、主动带轮、从动带轮、下固定板、下环圈、支撑板。本新型只需要工作人员把外环、内环及带有贴膜架的贴膜后晶圆片放到相应工位后,设备能自动完成拉伸扩膜、切边,以及分离贴膜架流程,由此给工作人员带来了便利,提高了工作效率,并保证了拉伸扩膜质量。综上,本新型具有好的应用前景。

本实用新型一种晶圆切割后的扩膜及割刀装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆切割后的扩膜及割刀装置,包括PLC、限位环、机架,其特征在于,还具有内环台盘机构、外环台盘机构、切刀机构;所述内环台盘机构包括气缸、固定板、外限位环圈、顶板、丝杠驱动电机、直线轴承,直线轴承、气缸分别有多套,多套气缸的筒体、多套直线轴承的轴承座下端分别固定安装在固定板上端四周;所述丝杠驱动电机的固定架下端固定安装在固定板上端中部;所述外限位环圈的上端和多套气缸的活塞杆、多套直线轴承的轴承杆下端分别固定安装在一起,顶板上端和丝杠驱动电机的活动柱下端固定安装在一起,固定板后侧端固定安装在机架上端,顶板的下端外侧固定安装有固定圈;所述限位环后侧固定安装在机架中部;所述外环台盘机构包括气缸A、直线轴承A、伺服电机、主动带轮、从动带轮、下固定板、下环圈、支撑板,直线轴承A有多套,气缸A的筒体固定安装在下固定板下端中部,多套直线轴承A的轴承座分别固定安装在下固定板下端四周,多套直线轴承A的轴承杆上端分别固定安装在支撑板一侧端四周下部,伺服电机固定安装在支撑板另一侧端下部,主动带轮固定安装在伺服电机的转轴上,气缸A的活塞杆的中部外侧固定安装有轴承,轴承的外圈外侧固定安装有固定圈,固定圈转动位于支撑板上中部外侧,从动带轮内侧固定安装在固定圈外侧,从动带轮和主动带轮之间安装有同步传输带,下环圈下端固定安装在气缸A的活塞杆上端,下固定板的后侧端固定安装在机架下侧;所述切刀机构安装在支撑板另一侧端及固定圈外侧之间。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海宏轶电子科技有限公司,其通讯地址为:200000 上海市松江区中山西路174号2幢1201室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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