苏州市诚瑞科技有限公司蒋文昊获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州市诚瑞科技有限公司申请的专利一种晶圆测试装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224084045U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520784147.8,技术领域涉及:H10P74/20;该实用新型一种晶圆测试装置是由蒋文昊;詹旦;王德峰设计研发完成,并于2025-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆测试装置在说明书摘要公布了:本实用新型提出一种晶圆测试装置,包括承载台,配置为能周向转动且水平方向能位移,承载台从晶圆的底面承载晶圆;工作台,间隔设于承载台上方,其上形成有使下方晶圆暴露出来的工作口,以及围绕工作口设置的探针座、光纤、第一视觉系统、第二视觉系统,所述探针座、光纤均被配置为可相对于晶圆进行小幅度位移运动,所述第一视觉系统配置为可相对于晶圆进行上下位移运动,所述第二视觉系统配置为角度可调以对准晶圆上的待测试点位。本实用新型通过承载台来实现对晶圆X轴、Y轴、轴向三个方向上的姿态调整,并通过小幅度地调整探针座、光纤来匹配晶圆上待测试点位,大大节省了晶圆位置校正时间,从而提升了测试速度、测试效率。
本实用新型一种晶圆测试装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆测试装置,其特征在于,包括: 承载台1,配置为能周向转动且水平方向能位移,承载台1从晶圆的底面承载晶圆; 工作台2,间隔设于承载台1上方,其上形成有使下方晶圆暴露出来的工作口21,以及围绕工作口21设置的探针座3、光纤4、第一视觉系统5、第二视觉系统6,所述探针座3、光纤4均被配置为可相对于晶圆进行小幅度位移运动,所述第一视觉系统5配置为可相对于晶圆进行上下位移运动,所述第二视觉系统6配置为角度可调以对准晶圆上的待测试点位。
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