沈阳富创精密设备股份有限公司蔡连旭获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳富创精密设备股份有限公司申请的专利一种用于机械手上下料的晶圆提篮获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224084019U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520990017.X,技术领域涉及:H10P72/10;该实用新型一种用于机械手上下料的晶圆提篮是由蔡连旭设计研发完成,并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于机械手上下料的晶圆提篮在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体零部件制造技术领域,具体是一种用于机械手上下料的晶圆提篮,包括底板、立柱、导向柱和顶板;底板顶部的尾部及中部两侧各设一个立柱,底板顶部的头部两侧各设一个导向柱,且立柱与导向柱等高;顶板固定在立柱和导向柱顶部,顶板顶部设两个把手;立柱和导向柱竖直方向均布若干个三面开口的用于安装晶圆的凹槽,尾部立柱凹槽未开口侧在尾侧,中部立柱和头部导向柱凹槽未开口侧在外侧。该用于机械手上下料的晶圆提篮由底板、立柱、导向柱和顶板等简单部件构成,相比专用晶圆传送盒和晶圆装载机,结构更为简洁,从而降低了制造成本,适合小批量晶圆测试验证场景,有效解决了现有方案成本过高的问题。
本实用新型一种用于机械手上下料的晶圆提篮在权利要求书中公布了:1.一种用于机械手上下料的晶圆提篮,其特征在于,包括底板1、立柱2、导向柱和顶板5;底板1顶部的尾部及中部两侧各设一个立柱2,底板1顶部的头部两侧各设一个导向柱,且立柱2与导向柱等高;顶板5固定在立柱2和导向柱顶部,顶板5顶部设两个把手6;立柱2和导向柱竖直方向均布若干个三面开口的用于安装晶圆7的凹槽,尾部立柱2凹槽未开口侧在尾侧,中部立柱2和头部导向柱凹槽未开口侧在外侧。
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