湖州东尼新能源有限公司沈晓宇获国家专利权
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龙图腾网获悉湖州东尼新能源有限公司申请的专利一种多管路实时监控与自动补偿的精密蚀刻设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224083794U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520651208.3，技术领域涉及：H05K3/06；该实用新型一种多管路实时监控与自动补偿的精密蚀刻设备是由沈晓宇;刘林森;陶岗;陈亮设计研发完成，并于2025-04-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多管路实时监控与自动补偿的精密蚀刻设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及蚀刻设备技术领域，具体涉及一种多管路实时监控与自动补偿的精密蚀刻设备，包括喷淋架，所述喷淋架的内侧转动连接有多组喷淋管，多组所述喷淋管的外侧均固定连接有多组蚀刻喷管，多组所述蚀刻喷管的外侧均套设有调节套，多组所述喷淋管的左端均固定安装有电子仪表，蚀刻喷淋均匀性的自动补偿调整，无需人员操作，速度快效率高，由于由设备自动根据设定好的算法调整，从而不需要依赖人员经验，调整精度高，同时实现在线实时监控，设备喷淋精度出现异常时可以马上自动进行补偿并发出报警信息，可以避免产生批量不良，而且能够根据蚀刻需求对蚀刻液喷出角度和范围进行调整，进一步提高了设备的实用性。
本实用新型一种多管路实时监控与自动补偿的精密蚀刻设备在权利要求书中公布了：1.一种多管路实时监控与自动补偿的精密蚀刻设备，包括喷淋架1，其特征在于：所述喷淋架1的内侧转动连接有多组喷淋管2，多组所述喷淋管2的外侧均固定连接有多组蚀刻喷管3，多组所述蚀刻喷管3的外侧均套设有调节套4，多组所述喷淋管2的左端均固定安装有电子仪表5，多组所述蚀刻喷管3与喷淋管2的连接处均安装有电子阀6，所述喷淋架1的顶部固定安装有监测主机7，且多组所述电子仪表5和电子阀6均与监测主机7电性连接，所述喷淋架1的左侧固定安装有角度调节组件8； 所述角度调节组件8包括固定安装于喷淋架1左侧的调节电机801，多组所述喷淋管2的左端均固定连接有连接套802，多组所述连接套802的外侧均固定安装有传动臂803，多组所述传动臂803之间均通过同步杆804相连接，所述调节电机801的驱动端上固定安装有驱动块805，且所述同步杆804的左侧通过多组连接头806与传动臂803和驱动块805转动连接。
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