广东省新兴激光等离子体技术研究院朱昆获国家专利权
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龙图腾网获悉广东省新兴激光等离子体技术研究院申请的专利离子注入机控制装置及氢氦同轴离子注入机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224082417U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520426244.X，技术领域涉及：H01J37/317；该实用新型离子注入机控制装置及氢氦同轴离子注入机是由朱昆;颜学庆;苏允楷设计研发完成，并于2025-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本离子注入机控制装置及氢氦同轴离子注入机在说明书摘要公布了：本申请涉及一种离子注入机控制装置及氢氦同轴离子注入机；所述装置包括：包括：上位机，连接上位机的下位机，设于离子注入机的离子源的进气口的气体流量控制器，设于离子注入机腔体内的真空计，以及连接离子束输出部件的束流传感器；所述气体流量控制器连接在离子注入机的离子源的进气管道上；所述真空计检测离子注入机腔体内真空度上传至下位机，由下位机上传至上位机；所述束流传感器检测离子束的束流强度参数上传至下位机，由下位机上传至上位机；所述上位机输出控制参数至下位机，由下位机控制气体流量控制器，分别控制各种气体的进气量；该技术方案，提升了控制效率，提升离子注入机的控制准确度。
本实用新型离子注入机控制装置及氢氦同轴离子注入机在权利要求书中公布了：1.一种离子注入机控制装置，其特征在于，包括：上位机10，连接上位机10的下位机20，设于离子注入机30的离子源31的进气口的气体流量控制器301，设于离子注入机30腔体内的真空计302，以及连接离子束输出部件33的束流传感器303； 所述气体流量控制器301连接在离子源31的进气管道上； 所述真空计302检测离子注入机30腔体内真空度上传至下位机20，由下位机20上传至上位机10； 所述束流传感器303检测离子束的束流强度参数上传至下位机20，由下位机20上传至上位机10； 所述上位机10输出控制参数至下位机20，由下位机20控制气体流量控制器301，分别控制各种气体的进气量。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广东省新兴激光等离子体技术研究院，其通讯地址为：510000 广东省广州市白云区龙归街科泰二路13-19号白云高新区·产业创新园17号第5栋整栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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