浙江端景光学科技有限公司黄子琳获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江端景光学科技有限公司申请的专利一种光刻设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224081939U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521116718.7，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光刻设备是由黄子琳;邹快盛;白春;邹欣雅;吴青晴设计研发完成，并于2025-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种光刻设备，该光刻设备包括龙门架及气浮平台，该气浮平台上设置有样品台，该样品台用于放置待曝光的光栅；该龙门架环设于气浮平台，该龙门架的顶部横梁上悬设有XY模组，该XY模组具有连接端，该连接端安装有机械臂，该机械臂用于从进料台夹取样品夹具，通过定位放置于气浮平台样品台上，在确定样品摆放位置后，卸下样品夹具，等待样品曝光。通过该光刻设备实现全流程自动化集成，曝光时实现样品自动装夹：机械臂配合视觉系统完成基板定位、装夹及更换，减少人工干预时间。
本实用新型一种光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种光刻设备，其特征在于，包括： 龙门架及气浮平台， 所述气浮平台上设置有样品台，所述样品台用于放置待曝光的光栅； 所述龙门架环设于气浮平台，且所述龙门架的顶部具有横梁，所述横梁上悬设有XY模组，所述XY模组具有连接端，所述连接端设置有机械臂，所述机械臂用于夹取样品。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江端景光学科技有限公司，其通讯地址为：313013 浙江省湖州市南浔区练市镇姚庄村中心路111号姚庄共富产业园4幢1层南侧；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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