深圳清力技术有限公司张海明获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳清力技术有限公司申请的专利AFM探针加工件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224081658U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520762155.2,技术领域涉及:G01Q60/38;该实用新型AFM探针加工件是由张海明;夏凯;靳彬彬;刘光华;潘旭捷设计研发完成,并于2025-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本AFM探针加工件在说明书摘要公布了:本申请适用于微纳机械传感器领域,提供了一种AFM探针加工件,包括:硅片,开设有若干个容置腔;若干个探针主体,每个所述容置腔内均设有至少一个所述探针主体,所述探针主体包括支架和悬臂梁,所述悬臂梁由所述支架向外延伸;连接件,其两端分别连接所述硅片和所述支架,所述连接件与所述支架的连接处的尺寸小于所述连接件与所述硅片的连接处。本申请提供的AFM探针加工件,能够有效避免分离时探针主体被损害或连接件残留部分在探针主体上的情况。
本实用新型AFM探针加工件在权利要求书中公布了:1.一种AFM探针加工件,其特征在于,包括: 硅片,开设有若干个容置腔; 若干个探针主体,每个所述容置腔内均设有至少一个所述探针主体,所述探针主体包括支架和悬臂梁,所述悬臂梁由所述支架向外延伸; 连接件,其两端分别连接所述硅片和所述支架,所述连接件与所述支架的连接处的尺寸小于所述连接件与所述硅片的连接处。
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