苏州斯玛图智能设备有限责任公司肖长力获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州斯玛图智能设备有限责任公司申请的专利一种湿氧炉获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224080718U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520571020.8，技术领域涉及：F27B9/24；该实用新型一种湿氧炉是由肖长力;冯磊;夏子豪设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种湿氧炉在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种湿氧炉，目的是解决现有氧化炉因温度均匀性差及生产连续性差而影响硅片氧化薄膜产量和质量的技术问题。本申请包括炉体、热控单元和传输单元。炉体用于硅片的氧化，其贯穿有传输通道。传输通道分为多个彼此相通的温控区。炉体设有通向传输通道的氮气管道、氧气管道和水汽管道。水汽管道通向靠近传输通道中心的温控区处。热控单元匹配温控区而安装于炉体。传输单元外接有驱动装置，用以对硅片的传输，其设有的输送辊组沿垂直于传输方向贯穿传输通道且安装于炉体侧壁。通过热控单元和传输单元的配合作用，使处于输送辊组任意位置的硅片均能在恒定的温度进行氧化，保证工艺连续性的同时有利于提高硅片氧化薄膜的产量和质量。
本实用新型一种湿氧炉在权利要求书中公布了：1.一种湿氧炉，其特征在于：所述湿氧炉包括： 炉体，用于硅片的氧化，其贯穿有传输通道；所述传输通道分为多个彼此相通的温控区；所述炉体设有通向所述传输通道的氮气管道、氧气管道和水汽管道；所述水汽管道通向靠近传输通道中心的所述温控区处； 热控单元，匹配温控区而安装于所述炉体，用以温控区的独立温控； 传输单元，外接有驱动装置，用以对硅片的传输，其设有的输送辊组沿垂直于传输方向贯穿传输通道且安装于炉体侧壁。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州斯玛图智能设备有限责任公司，其通讯地址为：215331 江苏省苏州市昆山市陆家镇田都路9号8号房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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