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龙图腾网获悉东北大学申请的专利一种晶圆缺陷检测方法、装置、介质及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121616598B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610147980.0，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种晶圆缺陷检测方法、装置、介质及设备是由张为之;苏涵光;王佳蔚;温聪聪;陈富涛;吴天宇;张馨心;郭佳怡;李明宣;王颢骞设计研发完成，并于2026-02-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆缺陷检测方法、装置、介质及设备在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体制造技术领域，具体公开了一种晶圆缺陷检测方法、装置、介质及设备，其中方法包括：对待测晶圆对象的原始晶圆图像进行图像处理，获得目标晶圆图像；对目标晶圆图像进行环带区域划分及多尺度特征提取处理，获得各环带区域对应的、若干不同尺度的初始特征图；利用目标检测模型中的目标对称性群等变卷积网络子模块，对每个环带区域的各初始特征图进行特征提取，获得各初始特征图对应的若干目标特征图；利用目标检测模型中的目标融合模块，对各目标特征图进行特征融合，获得融合后的目标全局特征向量；基于目标检测模型中的目标缺陷检测模块，对所述目标全局特征向量进行芯片级缺陷检测及晶圆级缺陷检测，获得目标检测结果。

本发明授权一种晶圆缺陷检测方法、装置、介质及设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆缺陷检测方法，其特征在于，包括： 对待测晶圆对象的原始晶圆图像进行图像处理，获得处理后的目标晶圆图像； 对所述目标晶圆图像进行环带区域划分以及多尺度特征提取处理，获得各环带区域对应的、若干不同尺度的初始特征图； 利用预先训练获得的目标检测模型中的目标对称性群等变卷积网络子模块，对每个环带区域所对应的各初始特征图进行特征提取，获得各初始特征图对应的若干目标特征图； 利用预先训练获得的目标检测模型中的目标融合模块，对各目标特征图进行特征融合，获得融合后的目标全局特征向量； 基于预先训练获得的目标检测模型中的目标缺陷检测模块，对所述目标全局特征向量进行芯片级缺陷检测以及晶圆级缺陷检测，获得目标检测结果； 所述目标对称性群等变卷积网络子模块包括：依次连接的若干目标等变卷积层；各所述目标等变卷积层的输出通道数量依次递增； 各所述目标等变卷积层分别包含目标基础卷积核； 各所述目标等变卷积层在进行特征提取时，基于二面体对称群中各姿态元素所对应的变换矩阵，对相应的目标基础卷积核进行变换处理，获得与各输出通道对应的卷积核群组，其中卷积核群组中的各变换卷积核与各所述姿态元素一一对应。

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