润晶(合肥)光电材料有限公司张虎获国家专利权
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龙图腾网获悉润晶(合肥)光电材料有限公司申请的专利一种高选择性Ag-Al复合刻蚀液组合物获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121610798B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610141138.6，技术领域涉及：C23F1/20；该发明授权一种高选择性Ag-Al复合刻蚀液组合物是由张虎;戴涛;陈豹;柴雅倩设计研发完成，并于2026-02-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高选择性Ag-Al复合刻蚀液组合物在说明书摘要公布了：本发明提供一种高选择性Ag‑Al复合刻蚀液组合物，涉及金属膜层刻蚀技术领域。所述高选择性Ag‑Al复合刻蚀液组合物由磷酸、硫酸、硫酸氢钾、硫酸铵、1‑羟基苯并三唑、3‑氨基‑1,2,4‑三氮唑、二甲基二硫代磷酸酯、有机醇组成。本发明克服了现有技术的不足，能够有效对Al进行刻蚀的同时对Ag几乎不产生侵蚀作用，有效防止传统工艺中Ag过度刻蚀的问题。
本发明授权一种高选择性Ag-Al复合刻蚀液组合物在权利要求书中公布了：1.一种高选择性Ag-Al复合刻蚀液组合物，其特征在于，所述复合刻蚀液组合物由以下质量百分数的物质组成：磷酸50.00%-55.00%、硫酸5.50%-6.50%、硫酸氢钾0.50%-0.90%、硫酸铵0.20%-0.60%、1-羟基苯并三唑0.25%-0.30%、3-氨基-1,2,4-三氮唑0.41%-0.45%、二甲基二硫代磷酸酯0.02%-0.05%、有机醇1.5%-2.5%，加水补足100%；且控制3-氨基-1,2,4-三氮唑与1-羟基苯并三唑的比值≥1.5；所述有机醇为聚醚二元醇、丁二醇、三乙二醇中至少一种；所述复合刻蚀液组合物能够选择性的对Al层进行刻蚀，对银不产生侵蚀作用。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人润晶(合肥)光电材料有限公司，其通讯地址为：230011 安徽省合肥市新站区工业园内新汴河路以南蓝领公寓东300米润晶(合肥)光电材料有限公司；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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