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龙图腾网获悉辽宁汉京半导体材料有限公司申请的专利一种高纯石英制品酸洗液动态调控方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121254636B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511804017.7，技术领域涉及：G05B13/04；该发明授权一种高纯石英制品酸洗液动态调控方法是由李来斌;王兴设计研发完成，并于2025-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高纯石英制品酸洗液动态调控方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种高纯石英制品酸洗液动态调控方法，涉及工艺调控技术领域，包括，实时获取高纯石英制品酸洗液参数，对高纯石英制品酸洗液参数进行同化分析，生成浓度‑电导率‑温度关系映射表；将补偿添加速率设定值转换为补酸泵的控制信号，执行补酸操作；同时由数字孪生模型基于补偿添加速率设定值，预测补酸操作后的氢氟酸浓度预测值；获取新氢氟酸浓度与氢氟酸浓度预测值进行比较，生成偏差值，根据偏差值对数字孪生模型的参数进行校准与更新。本发明通过构建数字孪生模型并基于有效活性浓度预测补偿添加速率值，实现了酸洗液活性补偿的精确性与优化控制。

本发明授权一种高纯石英制品酸洗液动态调控方法在权利要求书中公布了：1.一种高纯石英制品酸洗液动态调控方法，其特征在于：包括， 实时获取高纯石英制品酸洗液参数，对高纯石英制品酸洗液参数进行同化分析，生成浓度-电导率-温度关系映射表； 基于浓度-电导率-温度关系映射表，将高纯石英制品酸洗液参数中的酸洗液电导率测量值与酸洗液温度转换为氢氟酸的有效活性浓度； 将有效活性浓度与预设目标活性浓度阈值进行比较，生成比较结果，根据比较结果触发活性补偿机制； 构建数字孪生模型，在活性补偿机制触发后，由数字孪生模型依据有效活性浓度，预测出氢氟酸的补偿添加速率设定值； 将补偿添加速率设定值转换为补酸泵的控制信号，执行补酸操作；同时由数字孪生模型基于补偿添加速率设定值，预测补酸操作后的氢氟酸浓度预测值，步骤如下， 采集补酸操作后氢氟酸的有效活性浓度，并结合补偿添加速率设定值及历史高纯石英制品酸洗液参数，构建融合特征集； 将融合特征集输入数字孪生模型，进行多步浓度预测，生成初始浓度预测序列； 对初始浓度预测序列进行不确定性量化与校准，输出补酸操作后的氢氟酸浓度预测值； 获取新氢氟酸浓度与氢氟酸浓度预测值进行比较，生成偏差值，根据偏差值对数字孪生模型的参数进行校准与更新，步骤如下， 获取补酸操作后氢氟酸浓度的实际测量值作为新氢氟酸浓度，将新氢氟酸浓度与氢氟酸浓度预测值进行比较，生成复合偏差特征集； 基于复合偏差特征集，采用注意力机制加权的分层校准策略，对数字孪生模型进行协同校准，生成校准效果； 通过元学习框架评估校准效果，并基于评估结果对分层校准策略进行优化，完成数字孪生模型的参数更新。

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