买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利具有高信噪比的扫描叠加计量获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120418729B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202480005921.9，技术领域涉及：G03F7/00；该发明授权具有高信噪比的扫描叠加计量是由A·玛纳森;A·V·希尔;V·莱温斯基设计研发完成，并于2024-02-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有高信噪比的扫描叠加计量在说明书摘要公布了：一种叠加计量系统可包含：照明光学器件，其用于将来自照明源的照明分裂成主及次照明且将所述主照明导引到包含具有两个或更多个层中的光栅的叠加目标的样本；及物镜，其用于从所述构成光栅收集正及负衍射。所述系统可进一步包含收集光学器件，其用于使辅助照明与至少一些收集衍射瓣重叠以产生时变干涉信号。所述系统可进一步包含控制器，其用于基于所述时变干涉信号来产生叠加测量。

本发明授权具有高信噪比的扫描叠加计量在权利要求书中公布了：1.一种叠加计量系统，其包括： 照明源； 第一分束器，其经配置以将来自所述照明源的照明分裂成主照明及辅助照明； 一或多个照明光学器件，其经配置以在实施计量配方时将所述主照明导引到样本上的叠加目标，其中根据所述计量配方的所述叠加目标包含两个或更多个层中的光栅； 物镜，其用于在实施所述计量配方时从所述两个或更多个层中的每一者中的所述光栅收集与所述主照明的衍射相关联的至少一个正衍射瓣及至少一个负衍射瓣； 一或多个光检测器，其在一或多个收集光瞳平面中； 一或多个收集光学器件，其经配置以通过以下来实施所述计量配方： 使所述辅助照明的第一部分与所述主照明通过所述叠加目标的至少一个衍射瓣重叠于所述一或多个光检测器中的至少一者上以产生第一干涉图案；及 使所述辅助照明的第二部分与所述主照明通过所述叠加目标的至少一个额外衍射瓣重叠于所述一或多个光检测器中的至少一者上以产生第二干涉图案； 扫描子系统，其包含用于相对于所述主照明扫描所述样本的平移台、用于相对于所述样本扫描所述主照明的射束扫描光学器件或用于在实施所述计量配方时在所述叠加目标的扫描期间调制所述辅助照明的相位的相位调制器中的至少一者；及 控制器，其经通信耦合到所述一或多个光检测器，所述控制器包含一或多个处理器，所述一或多个处理器经配置以执行程序指令以引起所述一或多个处理器通过以下来实施所述计量配方： 在所述叠加目标的所述扫描期间从所述一或多个光检测器接收时变干涉信号；及 基于所述时变干涉信号来产生所述叠加目标的一或多个叠加测量。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人科磊股份有限公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。