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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利清洗装置及清洗控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117900204B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211240035.3，技术领域涉及：B08B7/00；该发明授权清洗装置及清洗控制方法是由李栋设计研发完成，并于2022-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本清洗装置及清洗控制方法在说明书摘要公布了：本公开提供一种清洗装置及清洗控制方法，用于对设置于反应腔上的压力计进行清洗，压力计具有与反应腔连通的第一内腔，清洗装置包括分离结构、输气通道和排气通道，设置于压力计的外壁上，分离结构用于通过加热和或振荡的方式使得压力计中与第一内腔的腔壁上的沉积物与腔壁相互分离；输气通道与第一内腔连通，用于向第一内腔通入清洗气体；排气通道与第一内腔连通，用于将携带沉积物的清洗气体排出第一内腔，本公开中的清洗装置，能够节省压力计换新或外送保养所需的高额成本；还能够对第一内腔的腔壁上附着的沉积物实现良好的清洗效果。

本发明授权清洗装置及清洗控制方法在权利要求书中公布了：1.一种清洗装置，用于对设置于反应腔上的压力计进行清洗，所述压力计具有与所述反应腔连通的第一内腔，其特征在于，所述清洗装置包括： 分离结构，设置于所述压力计的外壁上，所述分离结构用于通过加热和振荡的方式使得所述第一内腔的腔壁上的沉积物与所述腔壁相互分离； 输气通道，与所述第一内腔连通，用于向所述第一内腔通入清洗气体； 排气通道，与所述第一内腔连通，用于将携带所述沉积物的清洗气体排出所述第一内腔； 所述第一内腔对应设置有至少两个所述分离结构，沿远离所述反应腔的方向，与所述第一内腔对应设置的各所述分离结构的加热温度依次降低，与所述第一内腔对应设置的各所述分离结构的振荡频率依次降低； 所述压力计为弹片式电容压力计，所述压力计包括外壳以及设置于所述外壳内并沿轴向间隔设置的可形变隔膜和固定隔膜，所述可形变隔膜靠近所述反应腔的表面与所述外壳围合形成的空间构成所述第一内腔，所述可形变隔膜远离所述反应腔的表面与所述固定隔膜、所述外壳围合形成的空间构成第二内腔； 所述第二内腔对应设置有至少一个所述分离结构。

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