北京晶亦精微科技股份有限公司田洪涛获国家专利权
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龙图腾网获悉北京晶亦精微科技股份有限公司申请的专利一种取放片装置、双面加工的化学机械抛光系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117885033B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311812741.5，技术领域涉及：B24B37/08；该发明授权一种取放片装置、双面加工的化学机械抛光系统及方法是由田洪涛设计研发完成，并于2023-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种取放片装置、双面加工的化学机械抛光系统及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及化学机械抛光技术领域，公开了一种取放片装置、双面加工的化学机械抛光系统及方法，取放片装置的承载结构包括安装台、承载件和至少三个支撑柱，承载件适于受驱动地沿垂直于安装台的方向滑动，至少三个支撑柱沿承载件的外缘间隔设置在安装台上，且适于承接晶圆；承载件受驱动朝向背离安装台滑动至承载状态时，承载件所在平面高于支撑柱背离安装台一端所在平面；翻转结构包括取放片结构，取放片结构适于受驱动地伸入承载件与晶圆之间，以将晶圆从承载结构上取出或者将晶圆固定至取放片结构上后翻转，再放回至承载结构。承载结构具有两种支撑状态，搭配简单的翻转结构，实现对晶圆面次的翻转，便于后续晶圆的双面处理，提高工作效率。
本发明授权一种取放片装置、双面加工的化学机械抛光系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种取放片装置，其特征在于，包括： 承载结构1，所述承载结构1包括安装台11以及设置在所述安装台11上的承载件12和至少三个支撑柱13，所述承载件12适于受驱动地沿垂直于所述安装台11的方向滑动；至少三个所述支撑柱13沿所述承载件12的外缘间隔设置在所述安装台11上，至少三个所述支撑柱13适于承接晶圆a；所述承载件12受驱动朝向背离所述安装台11滑动至承载状态时，所述承载件12所在平面高于所述支撑柱13背离所述安装台11一端所在平面； 翻转结构2，所述翻转结构2包括取放片结构21，所述取放片结构21适于受驱动地伸入所述承载件12与晶圆a之间，以将晶圆a从所述承载结构1上取出，或者，将所述晶圆a固定至所述取放片结构21上后翻转，再放回至所述承载结构1上。
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